[发明专利]真空蒸镀系统及真空蒸镀方法

说明书

技术领域

本发明涉及具有串联地配置的多个真空蒸镀腔体与在上述串联上并在各安装腔体之间搬运进行蒸镀的工件的真空搬运腔体的真空蒸镀系统及真空蒸镀方法，尤其涉及适于利用蒸镀法进行的制造的真空蒸镀系统及真空蒸镀方法。

背景技术

具有在真空基板等工件上蒸镀有机EL等的真空蒸镀法。在一般的真空蒸镀法中，为了持续进行稳定的蒸镀，需要以从蒸发源将材料蒸发速度保持为一定的方式进行控制。在使用电阻加热或感应加热等方法加热蒸镀材料并进行物理蒸镀（PVC）的场合，为了蒸发速度稳定，需要一定的时间，需要将材料蒸发速度保持为一定而一直蒸发。因此，当将工件一个个搬入真空蒸镀腔体中并进行处理时，当在工件的蒸镀后将工件从真空蒸镀腔体搬出，搬入新的工件期间从蒸发源蒸发的材料对蒸镀工序毫无用处，会成为材料损失。

作为解决降低该材料损失的课题的方法具有专利文献1。在专利文献1中公开了在真空搬运腔体的周围设置真空蒸镀腔体的群集形式的真空蒸镀系统中在上述真空蒸镀腔体中交替地搬入、搬出两个工件，并进行蒸镀的方法。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2008-227477号公报

但是，如图1所示，即使在串联地配置真空搬运腔体与真空蒸镀腔体的真空蒸镀系统中，也期望降低搬运工件时的材料损失。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供在串联地配置真空搬运腔体与真空蒸镀腔体的真空蒸镀系统中，能够降低材料损失的经济性好的真空蒸镀系统及真空蒸镀方法。

本发明为了实现上述目的，至少具有以下特征。

本发明是一种真空蒸镀系统，其交替且串联地配置水平地搬运工件的真空搬运腔体与对上述工件蒸镀蒸镀材料的真空蒸镀腔体，由具有多个上述真空蒸镀腔体的线构成，该真空蒸镀系统的特征在于，互相并列地设置N（N为2以上）条上述线，上述真空蒸镀腔体是横跨各个上述N条线而设置的N条线真空蒸镀腔体，上述N条线真空蒸镀腔体在每条线上具有蒸镀上述工件的蒸镀位置，当在上述N条线中的第一线上对第一上述工件进行蒸镀期间，在与上述第一线不同的另一线将第二上述工件搬出到下游侧的上述真空搬运腔体，并从上游侧的上述真空搬运腔体搬入第三上述工件。

另外，本发明是一种真空蒸镀方法，其交替且串联地配置水平地搬运工件的真空搬运腔体与对上述工件蒸镀蒸镀材料的真空蒸镀腔体，使具有多个上述真空蒸镀腔体的线互相并列，具有N（N为2以上）条上述线，在横跨上述N条线的上述真空蒸镀腔体而设置的各个N条线真空蒸镀腔体中对上述工件进行蒸镀，当在上述N条线中第一线上对上述工件进行蒸镀期间，在与上述第一线不同的另一线将第二上述工件搬出到下游侧的上述真空搬运腔体，从上游侧的上述真空搬运腔体搬入第三上述工件。

并且，上述N是2，上述另一线是第二线。

另外，上述真空搬运腔体可以具有送料机构，该送料机构具有在上述工件的搬运方向上沿前后伸缩的多级直动轴。

另外，从上游侧的上述N条线真空蒸镀腔体或装入室搬出上述工件，将上述工件向下游侧的上述N条线真空蒸镀腔体或卸载室搬入。

另外，上述搬入或上述搬出通过设在蒸镀位置的上方且在上述蒸镀位置与搬入搬出位置之间升降的交接机构来进行。

另外，上述N条线真空蒸镀腔体具有从上述蒸镀位置在下部的区域使蒸发源二维移动的蒸发源驱动机构。

另外，上述真空搬运腔体的真空部设在比上述蒸镀位置高的位置，上述N条线真空蒸镀腔体具有向上述真空搬运腔体的真空部的下侧突出的结构。

另外，上述真空搬运腔体分别是横跨上述N条线而设置的N条线真空搬运腔体，上述N条线真空搬运腔体具有使上述送料机构在上述N条线间移动的机构、或一台水平多关节式搬运机器人。

另外，上述真空搬运腔体只搬运上述工件、或搬运与保持上述工件的工件搬运体或掩蔽件为一体的上述工件。

本发明的效果如下。

根据本发明，能够提供在串联地配置真空搬运腔体与真空蒸镀腔体的真空蒸镀系统中能够降低材料损失的经济性好的真空蒸镀系统及真空蒸镀方法。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的真空蒸镀系统的图。

图2是表示真空蒸镀腔体与真空搬运腔体的结构的侧视图。

图3是真空搬运腔体内的送料机构的说明图。

图4是表示横跨两条线移动蒸发源，蒸镀两条线的工件的蒸镀源驱动机构的结构的图。

图5是表示横跨两条线进行的蒸镀处理流程及蒸发源的动作流程的图。

图6是示意地表示蒸发源的动作的图。