[发明专利]高能电子束消色散偏转装置

权利要求书

1.一种高能电子束消色散偏转装置，其特征是，它包括：真空盒（1）、磁铁组件、线圈、输入法兰（2）、直束输出窗（3）、弯束输出窗（4）以及挡磁块组件（5）；

所述真空盒（1）为矩形管状结构，所述矩形管状结构分为两段，其中第一段为S型，其输入端与水平夹角为20°，第二段的输入端连接第一段的输出端，并且第二段的输出端与水平夹角为90°；

所述磁铁组件分为3部分，分别为磁铁A（14）、磁铁B（15）以及磁铁C（16）；磁铁A（14）为凹字形结构，在其中部凹槽处的内壁上的设有磁极块，所述磁极块左右对称，中间留有缝隙，每个所述磁极块的上下边为弧形段，弧形段的形状与所述真空盒（1）的第一段偏转段的形状保持一致，每个所述磁极块的左右端面的夹角为45°；所述磁铁B（15）与所述磁铁A（14）的结构相同；所述磁铁C（16）同样为凹字形结构，中部凹槽处的内壁上的设有磁极块，所述磁极块左右对称，中间留有缝隙，每个所述磁极块的左右边为弧形段，弧形段的形状与所述真空盒（1）的第二段偏转段的形状保持一致，每个所述磁极块的上下端面夹角为110°；

整体连接关系为：所述真空盒（1）的第一段输入端连接所述输入法兰（2），所述真空盒（1）的第二段输出端连接所述弯束输出窗（4）；所述线圈缠绕在所述磁铁组件的磁铁A（14）、磁铁B（15）以及磁铁C（16）的磁极块外围；所述直束输出窗（3）沿电子束射入方向设置在所述真空盒（1）的第一段上方，所述直束输出窗（3）与水平夹角同样为20°；所述真空盒（1）放置在所述磁铁组件的磁铁A（14）、磁铁B（15）以及磁铁C（16）中间的缝隙中，所述真空盒（1）紧贴磁极，其中，所述磁铁A（14）与磁铁B（15）分别位于所述真空盒（1）第一段的上下偏转段，但是所述磁铁A（14）与磁铁B（15）的安装位置在垂直方向上相反，所述磁铁A（14）的开口方向向上，所述磁铁B（15）的开口方向向下，所述磁铁C（16）位于所述真空盒（1）的第二段，其开口方向与所述真空盒（1）的第二段输出口的开口方向相垂直；所述磁铁A（14）与所述磁铁B（15）的磁场方向相反，所述磁铁A（14）与所述磁铁C（16）的磁场方向相同；所述挡磁块组件（5）共有5块，套接在所述真空盒（1）的外围，分别位于磁铁A（14）和磁铁B（15）的线圈两侧，以及磁铁C（16）的线圈内侧，且不与所述磁铁A（14）、磁铁B（15）以及磁铁C（16）的磁极块接触。

2.如权利要求1所述的一种高能电子束消色散偏转装置，其特征是，所述挡磁块组件（5）靠近所述磁铁A（14）、磁铁B（15）以及磁铁C（16）的端面与所述磁极块的端面相平行，另一端面与电子束行走的轨迹相垂直。

3.如权利要求1或2所述的一种高能电子束消色散偏转装置，其特征是，所述真空盒（1）的矩形截面宽边内径为40mm，窄边内径为20mm，所述真空盒（1）的壁厚为10mm，第一段的S型每个偏转段的偏转中心半径为120mm，第二段偏转段的偏转中心半径为60mm。

4.如权利要求1或2所述的一种高能电子束消色散偏转装置，其特征是，所述线圈用外径5mm内径3mm的空心紫铜管绕制而成，缠绕在所述磁铁A（14）、磁铁B（15）处的线圈每个3层，每层10圈空心紫铜管；缠绕在磁铁C（16）处的线圈共6层，内4层每层10圈，最外2层每层3圈。