[发明专利]电力喷枪和利用高频耦合的等离子体增强型涂覆

权利要求书

1.借助于等离子体处理来用于涂覆例如塑料瓶子的容器（102）的装置（100），所述装置（100）包括：

至少一个高频源（109）、位于待处理的所述容器（102）的外部的至少一个外部电极（103），以及用于将处理气体供应到所述容器（102）中的至少部分地导电的至少一个气体喷枪（101），其特征在于，所述至少一个外部电极（103）接地和/或与位于待处理的所述容器的外部的容器涂覆装置（100）诸如压力室部件或壳体部件的其他部件等电位，并且所述至少一个气体喷枪（101）能够将能够由所述高频源（109）产生的高频辐照到待处理的所述容器（102）的内部。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述气体喷枪（101）是至少部分地、例如同轴地被电屏蔽的，其中，所述气体喷枪（101）的同轴电屏蔽（107）止于所述容器（102）的内部。

3.根据前述权利要求1至2中的一项所述的装置，其特征在于，所述气体喷枪（101）被配置为使得所述气体喷枪（101）由同时导电且使处理气体能够透过的材料、例如金属管道或者具有比如具有小于0.1mm、0.2mm或者0.5mm的孔口直径和0.1mm至10mm、20mm的孔口长度的多个气体进入孔口的金属管道制成，或者由多孔金属泡沫，比如小于10μm至100μm的平均孔隙半径的铝制多微孔泡沫制成。

4.根据前述权利要求1至3中的一项所述的装置，其特征在于，所述气体喷枪被配置为使得处理气体的供应和高频的供应或传导在物理上分离地发生，其中，所述气体喷枪的传导所述高频的部分是导电的并且所述气体喷枪的供应所述处理气体的部分是部分地或全部地由例如合成材料或陶瓷的不导电材料制成，部分地或全部地由导电材料制成，或者是由导电材料和不导电材料的组合制成。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述气体喷枪（401）包括如固体材料的块状金属芯（406），其中，所述金属芯被用于处理气体的供应的双重管道（403）包围，所述双重管道（403）由例如合成材料制成，并且所述双重管道（403）的两个管道（405、404）被安置在彼此的内部，并且彼此间隔0.1mm至2mm，并且外管道（404）优选地在侧面上提供孔口（402）并且优选地所述孔口（402）具有小于0.5mm的孔口直径。

6.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述气体喷枪（501）包括块状金属芯（505），块状金属芯（505）被用于处理气体的供应的毛细管管道（503）包围，所述毛细管管道（503）由例如陶瓷材料制成，并且所述毛细管管道包括优选地平行于重力方向布置并且具有优选地在0.1mm至0.5mm之间的、尤为优选地为0.3mm的毛细管直径的毛细管（504），并且毛细管管道（503）设有孔口（502），所述孔口（502）优选地在侧面上并且优选地所述孔口（502）具有小于所述毛细管直径、例如小于0.1mm的孔口直径，所述孔口（502）与所述毛细管（504）相通。

7.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述气体喷枪（601）包括芯（602），所述芯（602）由具有用于处理气体的供应的纤细地分支的曲径状通道系统，比如具有小于10μm至100μm的平均孔隙半径的多孔陶瓷泡沫的管道的电绝缘体形成，并且所述芯（602）被金属包壳（603）包围，并且所述金属包壳（603）为比如具有用于处理气体通过的凹槽（604）的金属管道，或者为具有与多孔陶瓷泡沫制成的前述芯（602）相同的多孔性或者不同的多孔性的金属泡沫，或者为具有孔洞/凹槽（604）的气相沉积的金属外壳，或者为具有网状结构的金属外壳，其中，所述孔洞/凹槽（604）的形状为比如圆形、角形或椭圆形并且具有在1mm至10mm范围内的中等尺寸。