[发明专利]一种低毒酸化缓蚀剂的制备方法及其应用

权利要求书

1.一种低毒酸化缓蚀剂的制备方法，其特征是：它包括如下步骤：

步骤1）合成曼尼希碱季铵盐；其中曼尼希碱季铵盐分子式为：

式中X为Br或Cl。

步骤2）用溶剂稀释曼尼希碱季铵盐到15~20%，以质量百分数计。

2.根据权利要求1所述的一种低毒酸化缓蚀剂的制备方法，其特征是：所述的步骤1）曼尼希碱季铵盐合成方法为：将N-甲基环己胺、肉桂醛以摩尔比为1.0~1.3:2.0加入到肉桂醛、N-甲基环己胺和苯乙酮总质量的10%异丙醇中，然后缓慢滴加1.0~1.3mol的苯乙酮，搅拌均匀，用盐酸调节pH=4，在80~100℃反应5~7h，降之室温即得曼尼希碱；然后向曼尼希碱中缓慢滴加溴化苄或氯化苄，在83~95℃反应2~4h，降之室温即得曼尼希碱季铵盐。

3.根据权利要求2所述的一种低毒酸化缓蚀剂的制备方法，其特征是：所述步骤1）所述的曼尼希碱与溴化苄或氯化苄的质量比为1.0:1.0~1.3。

4.根据权利要求1所述的一种低毒酸化缓蚀剂的制备方法，其特征是：所述步骤2）所述的溶剂是甲醇、无水乙醇、异丙醇、丙酮或二甲基甲酰胺中的一种或多种混合。