[发明专利]处理器以及部件检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及输送部件的处理器，特别是涉及具有调节部件的温度的温度调节部的处理器、以及具备该处理器的部件检查装置。

背景技术

通常，在检查电子部件的电气特性的部件检查装置中，会用到处理器，该处理器在基台上的托盘与检查用插口之间输送检查前、检查后的电子部件。在这样的部件检查装置中，有将电子部件置于0℃以下的低温状态并在此基础上检查该电子部件的电气特性的装置。

以往，作为将电子部件冷却至低温状态的方法，例如公知有专利文献1所记载那样的技术。在专利文献1中，在工作台载置有托盘，该托盘收容有多个电子部件。在该工作台的内部配设有内部通路。而且，处于干燥状态的压缩空气被冷却，并将该被冷却的压缩空气供给至工作台的内部通路。由此，经由工作台冷却托盘，从而经由该托盘冷却电子部件。

专利文献1：日本特开2004-347329号公报

然而，作为冷却电子部件的方法，除了专利文献1所记载的方法之外，也有向工作台的内部通路供给液氮的方法。在该方法中，虽然能够迅速地冷却工作台，但是有时液氮的一部分会在工作台的内部通路发生气化。因为液氮若在大气压下气化则其体积会扩大至约700倍，所以对于内部通路所处的工作台或从该工作台排出液氮的排出路而言，需要能够承受伴随液氮气化的压力变化的耐压性。另外，虽然对液氮的供给量以使得工作台的温度达到目标温度的方式进行控制，但是由于液氮在工作台的内部通路发生气化，所以有时还会因气化时的气化热致使工作台被过度冷却。

发明内容

本发明是鉴于上述实际情况而做出的，其目的在于提供一种能够抑制因液化气体的气化所导致的压力变动以及工作台的过度冷却的处理器、以及具备该处理器的部件检查装置。

本发明的处理器具备：机器人，其输送部件；工作台，其支承所述部件；供给部，其供给液化的气体亦即液化气体；供给路，其将所述供给部与所述工作台内的通路连结；阀，其开闭所述供给路；加热器，其加热所述工作台；温度传感器，其检测所述工作台的温度；控制部，其以所述温度传感器的检测温度成为规定温度的方式控制所述加热器的输出以及所述阀的开闭；以及气化容器，其夹设于所述供给路的中途，具有比所述供给路大的流路截面积并使液化气体气化。

根据本发明的处理器，能够将工作台调整至规定温度，并且液化气体在到达工作台之前进入气化容器。对于气化容器而言，因为流路截面积比供给路大，所以流路内面积以及容积也比该供给路大。因此，进入气化容器的液化气体被暴露在比液化气体的沸点的温度高的气化容器的内部而气化膨胀。此时，在气化容器的内部虽然产生伴随着液化气体的气化的压力变动，但是因为气化容器的内部被先行的液化气体气化而成的气体充满，所以能够缓和与后续的液化气体的气化相伴随的压力变动。而且，因为将在气化容器气化的气体供给至工作台内的通路，所以能够抑制该通路中的液化气体的气化。其结果是，能够抑制因液化气体的气化热所导致的工作台的温度过度的降低。因此，能够抑制因液化气体的气化所导致的压力变动以及工作台的过度的冷却。

在该处理器中，将上述阀配设于比上述气化容器更靠上述供给路的上游侧。

根据该处理器，在供给路配设有阀，该阀比气化容器更靠上游侧。这里，在阀配设于比气化容器更靠下游侧的情况下，若阀维持在关闭状态，则处于供给部与阀之间的气化容器成为封闭的状态。因此，假设由于液化气体的一部分气化而导致气化容器内的压力变高，从而对气化容器要求能够承受上述压力的耐压性。关于这一点，根据上述的方式，即使阀维持在关闭状态，因为能够避免气化容器成为封闭状态，所以也能够降低气化容器被要求的耐压性。

该处理器具备：收容容器，其收容上述工作台；和排出路，其将上述工作台内的通路与上述收容容器内连结。

根据该处理器，因为对工作台内的通路供给的气体其含水量接近于零，所以通过将从工作台内的通路排出的气体供给至收容容器内，能够使该收容容器内处于干燥状态。其结果是，能够抑制在被冷却至低温状态的工作台以及被该工作台支承的部件产生结露。

在该处理器中，在上述排出路中配设有逆止阀，该逆止阀限制气体向上述工作台内的通路流入。

根据该处理器，例如在将阀维持在关闭状态期间，能够抑制与液化气体相比含水量多的气体通过排出路流入工作台内的通路以及气化容器。其结果是，在恢复工作台的冷却时，能够抑制在工作台内的通路以及气化容器产生结露。