[发明专利]系统监视装置及其控制方法

权利要求书

1.一种系统监视装置，基于用于表示影响由制造系统制造的产品的制造品质的状态的状态数据，来利用于为了调整该制造系统的状态而耗能的设备的动作，

该系统监视装置的特征在于，具有：

获取单元，其连续获取所述状态数据；

裕度计算单元，其基于所获取的连续的所述状态数据的移动平均值和针对所述状态数据能够保证制造品质的基准值，来计算所述移动平均值相对于所述基准值的裕度；

能量削减余地提取单元，其根据所述裕度提取所述设备的能量削减余地；

显示单元，其显示所述能量削减余地。

2.如权利要求1所述的系统监视装置，其特征在于，

所述裕度计算单元提取根据所述移动平均及连续的所述状态数据的移动偏差来计算出的值与基准值之差，来作为所述裕度。

3.如权利要求1或2所述的系统监视装置，其特征在于，

所述能量削减余地提取单元每隔规定时间计算能量削减余地，所述显示单元将该能量削减余地显示为曲线图或表格。

4.如权利要求1至3中任一项所述的系统监视装置，其特征在于，

所述获取单元分别按照各区域或者各工序而被设置，所述系统监视装置通过各所述获取单元获取每个所述区域或者每个所述工序的状态数据；

所述能量削减余地提取单元根据每个区域或者每个工序的该状态数据提取能量削减余地；

所述显示单元将该能量削减余地与区域或工序的图一并进行显示。

5.如权利要求1至4中任一项所述的系统监视装置，其特征在于，

所述能量削减余地提取单元通过对作为所述状态数据和所述基准值之差的裕度进行随时间累计，来提取能量削减余地。

6.如权利要求1至5中任一项所述的系统监视装置，其特征在于，

还具有控制单元，该控制单元控制所述设备的动作，以使所述状态数据属于所述基准值的范围内。

7.一种系统监视装置，基于从对影响制造系统的制造品质的状态进行计测的传感器输出的状态数据，来利用于为了调整该制造系统的状态而耗能的设备的动作，

该系统监视装置的特征在于，具有：

接收单元，其连续地接收所述状态数据；

裕度计算单元，其基于由所述接收单元获取的连续的所述状态数据的移动平均值和针对所述状态数据能够保证制造品质的基准值，来计算所述移动平均值相对于所述基准值的裕度；

能量削减余地提取单元，其根据所述裕度提取所述设备的能量削减余地；

显示单元，其显示所述能量削减余地。

8.一种系统监视装置的控制方法，用于控制系统监视装置的动作，其中，基于从对影响制造系统的制造品质的状态进行计测的传感器输出的状态数据，来将上述系统监视装置利用于为了调整该制造系统的状态而耗能的设备的动作，

该系统监视装置的控制方法的特征在于，

所述系统监视装置，

连续地接收所述状态数据并存储至存储器；

根据存储在所述存储器中的连续的所述状态数据来计算移动平均值；

基于所述移动平均值和针对所述状态数据能够保证制造品质的基准值，来计算所述移动平均值相对于所述基准值的裕度；

根据所述裕度提取所述设备的能量削减余地；

将所述能量削减余地显示在显示部上。

9.一种系统监视装置，基于用于表示影响在无尘室内制造的产品的制造品质的状态的清洁度，来利用于为了调整该无尘室的清洁度而耗能的过滤器风机的动作，

该系统监视装置的特征在于，具有：

微粒传感器，其连续获取所述清洁度；

裕度计算单元，其基于所获取的连续的所述清洁度的移动平均值和针对所述清洁度能够保证制造品质的基准值，来计算所述移动平均值相对于所述基准值的裕度；

能量削减余地提取单元，其根据所述裕度提取所述过滤器风机的能量削减余地；

显示单元，其显示所述能量削减余地。

10.一种系统监视装置，基于用于表示影响在炉内制造的产品的制造品质的状态的温度，来利用于为了调整该炉内的温度而耗能的加热器的动作，

该系统监视装置的特征在于，具有：

温度传感器，其连续获取所述温度；

裕度计算单元，其基于所获取的连续的所述温度的移动平均值和针对所述温度能够保证制造品质的基准值，来计算所述移动平均值相对于所述基准值的裕度；

能量削减余地提取单元，其根据所述裕度提取所述加热器的能量削减余地；

显示单元，其显示所述能量削减余地。