[发明专利]一种大径高比超精密液体静压转台

说明书

技术领域

本发明属于超精密制造装备技术领域，涉及一种超精密液体静压转台，尤其是涉及一种大径高比超精密液体静压转台。

背景技术

随着国家多项重大科学工程研究的开展，对高精度大口径非球面光学元件的需求日益增加。这些元件的材料多属于硬脆性难加工材料，常规的加工与检测方法已经不能满足其高精度和高效率的加工要求，大型超精密机床是实现其确定性批量加工的重要保证。然而，由于加工大口径光学零件的超精密机床及其关键部件属于国外对我国禁运的产品，并实行严格的技术封锁。因此，自主研发这类超精密机床及其关键部件并应用在实际生产中，对国家安全和未来发展都具有重大意义。

超精密液体静压转台是这类大型超精密机床的关键部件之一，其精度和刚度等性能指标直接影响超精密机床的整体工作性能。尽管已有一些能够应用于大型机床的液体静压转台技术的文献报道，如专利号为ZL200810181119.8、授权公告日为2010年07月14日、名称为《高精度高刚度封闭式流体静压回转工作台》的发明专利；专利号为ZL200810154672.2、授权公告日为2010年08月11日、名称为《复合闭式静压导轨工作台》的发明专利；申请号为201110070174.1、申请公布日为2011年08月10日、名称为《一种精密加工机床用转台结构》的发明专利申请，申请号为201110189491.5、申请公布日为2011年12月07日、名称为《高精度高刚度大扭矩液体静压电主轴》的发明专利申请，公布日为2007年07月、名称为《大型超精密机床液压轴系幅板结构优化设计》的哈尔滨工业大学硕士学位论文等，在一定程度上可以满足大型数控机床对液体静压转台高承载能力、高刚度和高精度的要求。

然而上述现有技术在不同程度上存在以下不足：如关键零件的加工不易获得高精度，回转轴系的转动惯量较大，止推板在静压油压力的作用下存在较大变形，转台高度难于降低，致使现有技术还不能完全满足加工高精度大口径非球面光学零件的大型超精密机床的要求。

发明内容

为了解决现有技术中存在的问题，本发明的目的是提供一种大径高比超精密液体静压转台，以满足加工高精度大口径非球面光学零件的大型超精密机床的要求。

为了达到上述目的，本发明所采取的技术方案是：

一种大径高比超精密液体静压转台，所述超精密液体静压转台包括转台底座、电机座、接油盘、力矩电机、连接盘、角度编码器、连接轴、编码器座、下浮板、上浮止推板、上浮板、下浮止推板、内隔环、径向轴瓦、主轴、定位安装轴、进油管路、数个径向节流器、数个下浮节流器及数个上浮节流器；