[发明专利]硬质被膜、滑动部件、滑动部件的制造方法

权利要求书

1.一种硬质被膜，其含有硼和碳，其特征在于，在表面分别具有多个凹部和凸部，所述凹部的碳浓度比所述凸部的碳浓度高，所述凸部的硼浓度比所述凹部的硼浓度高。

2.权利要求1所述的硬质被膜，其特征在于，在所述表面，所述凹部形成槽，多个所述槽并列。

3.权利要求2所述的硬质被膜，其特征在于，在所述表面形成多个组，在所述组内形成多个所述槽，在每个所述组中多个所述槽的取向不同。

4.权利要求2所述的硬质被膜，其特征在于，所述槽的宽度小于100μm，所述凹部和所述凸部的高低差小于0.5μm。

5.权利要求1所述的硬质被膜，其特征在于，还含有氢和氮中的至少1种，氢为20原子％以下，氮小于硼浓度的1.1倍。

6.权利要求1所述的硬质被膜，其特征在于，膜硬度为20GPa以上。

7.一种滑动部件，其特征在于，基材上设有权利要求1所述的硬质被膜。

8.权利要求7所述的滑动部件，其特征在于，所述硬质被膜在所述基材侧形成多个中间层，所述多个中间层从所述基材侧开始具备：含有金属的第一中间层、含有金属和金属碳硼化物的第二中间层、含有金属碳硼化物和非晶质碳的第三中间层。

9.权利要求7所述的滑动部件，其特征在于，所述硬质被膜在所述基材侧形成含有硅、铬、钛、钨中的至少1种元素的中间层，所述元素的浓度从所述基板侧朝向所述表面逐渐减小，硼、碳、氮中的至少1种元素的浓度从所述基板侧朝向所述表面逐渐增大。

10.权利要求7所述的滑动部件，其特征在于，所述基材为配备于内燃机内的起阀器、顶杆、可调整垫片、凸轮、凸轮轴、摇臂、活塞、活塞销、活塞环、定时齿轮、定时链条，配备于燃料供给系统内的喷射器、柱塞、气缸、凸轮及叶片中的任一种。

11.权利要求8所述的滑动部件，其特征在于，所述基材为配备于内燃机内的起阀器、顶杆、可调整垫片、凸轮、凸轮轴、摇臂、活塞、活塞销、活塞环、定时齿轮、定时链条，配备于燃料供给系统的喷射器、柱塞、气缸、凸轮及叶片中的任一种。

12.权利要求9所述的滑动部件，其特征在于，所述基材为配备于内燃机内的起阀器、顶杆、可调整垫片、凸轮、凸轮轴、摇臂、活塞、活塞销、活塞环、定时齿轮、定时链条，配备于燃料供给系统的喷射器、柱塞、气缸、凸轮及叶片中的任一种。

13.一种硬质被膜的制造方法，其为在基材上设有含有硼和碳的硬质被膜的滑动部件的制造方法，其特征在于，所述硬质被膜采用非平衡磁控溅射法或高功率脉冲磁控溅射法中的至少一种制作，使用含有硅、铬、钛、钨中的至少一种元素的靶、和碳化硼靶。