[发明专利]接触式探针

权利要求书

1.一种接触式探针，该接触式探针包括：固定构件；感应器，该感应器由一个或数个弹性元件相对于所述固定构件保持在静止位置，所述感应器能够响应于偏转力从所述静止位置移动；包括光源的用于检测所述感应器的位移的检测系统；接收由所述光源发出的光的光学图像传感器；其中，所述光学图像传感器上的光强度的空间分布根据所述感应器的位移而改变。

2.根据权利要求1所述的接触式探针，该接触式探针还包括处理电路，该处理电路设置成用于从由所述光学图像传感器记录的图像确定所述感应器沿着一条、两条或三条测量轴线的位置和/或偏转，并且用于向测量机传输表示所述位置和/或偏转的位置信号。

3.根据权利要求2所述的接触式探针，其中，所述处理电路被设计成在作用于所述感应器上的力超过预定阈值时触发接触信号。

4.根据权利要求2所述的接触式探针，其中，所述处理电路被设计成产生连续地表示所述感应器沿着一条、两条或三条测量轴线的位置和/或偏转的偏转信号。

5.根据权利要求1所述的接触式探针，该接触式探针还包括温度传感器，其中所述处理电路被设计成根据所述温度传感器提供的信号补偿温度误差。

6.根据权利要求1所述的接触式探针，该接触式探针包括加速计。

7.根据权利要求1所述的接触式探针，该接触式探针包括接收由所述光源发出的光的多个光学图像传感器，其中，所述光学图像传感器上的光强度的空间分布根据所述感应器的位移而改变，所述探针还包括处理电路，该处理电路设计成从由所述光学图像传感器记录的光分布来确定所述感应器沿三维的位移。

8.根据权利要求1所述的接触式探针，其中，所述一个或数个弹性元件由单块金属部件构成。

9.根据权利要求8所述的接触式探针，其中，所述单块金属部件具有大致筒状形状，所述筒状形状具有对应于两个底部的两个端部元件，所述感应器与一端部元件的中心一体地结合，并且所述光源与相对的端部元件的中心一体地结合，其中每个端部元件均具有与所述探针主体一体结合的外周环以及允许所述光源沿着三条轴线移位的多个可变形元件。

10.根据权利要求1所述的接触式探针，该接触式探针包括光掩模，该光掩模插设在光路中位于所述光源和所述光学图像传感器之间。

11.根据权利要求10所述的接触式探针，其中，所述掩模包括透镜阵列。

12.根据权利要求1所述的接触式探针，其中，所述光源借助所述感应器相对于所述固定构件的位移而被驱动。

13.根据权利要求1所述的接触式探针，其中，所述感应器借助磁性连接或机械连接以可移除的方式连接至所述检测系统。

14.根据权利要求13所述的接触式探针，其中，所述感应器由可更换的模块支承，该可更换的模块包括感应器支架，所述感应器支架由限定六个接触点的多个定位元件弹性地保持在静止位置。

15.根据权利要求1所述的接触式探针，其中，所述弹性元件包括：刚性元件，该刚性元件沿着大致轴向方向延伸，并且所述刚性元件在两端处具有柔性元件以确保横向柔度；以及臂，这些臂具有轴环以确保轴向柔度。