[发明专利]波束监视系统和粒子束照射系统

权利要求书

1.一种波束监视系统，其特征在于，具备：

收集电极，具有多个线电极，检测通过的带电粒子束；

信号处理装置，取得从所述线电极输出的检测信号进行信号处理；以及

波束监视器控制装置，基于来自所述信号处理装置的处理信号，求出通过了所述线电极的带电粒子束的位置和波宽，

所述收集电极由将相邻的多个所述线电极作为一个组的多个组构成，

所述信号处理装置通过与属于所述组的线电极相同数目的配线与所有的所述线电极连接，以便从同一配线输入从各个所述组选择的一个线电极输出的检测信号，

所述信号处理装置求出用于表示输入的检测信号是属于哪个组的线电极的检出信号的组信息，将包含所述组信息的所述处理信号输出到所述波束监视器控制装置。

2.根据权利要求1所述的波束监视系统，其特征在于，

所述组被分割为由相邻的多个所述线电极构成的划分，

属于某一划分的各个所述线电极通过与属于其他组的划分中的任意一个划分的所述线电极分别相同的配线连接到所述信号处理装置，

通过对每组不同的置换连接，将属于所述划分的所述线电极和属于所述其他组的划分的所述线电极连接，

所述信号处理装置以计划的波束照射目标位置信息为基础，根据所述置换连接的信息重新排列来自所述线电极的各个检测信号，求出所述带电粒子束的波束位置和波宽。

3.根据权利要求1或2所述的波束监视系统，其特征在于，

以构成一个所述组的多个所述线电极的宽度大于照射预定的所述带电粒子束的宽度的方式，构成所述收集电极。

4.根据权利要求2或3所述的波束监视系统，其特征在于，

所述一个组包含比充分必要地覆盖所述带电粒子束的波宽的划分数大的数量的划分。

5.根据权利要求1至4的任意一项所述的波束监视系统，其特征在于，

具备显示装置，取得由所述波束监视器控制装置求出的波束位置和波宽的信息，并显示在画面上。

6.根据权利要求1至5的任意一项所述的波束监视系统，其特征在于，

所述信号处理装置具备保存来自所述线电极的检测信号的存储装置，对所述存储装置中存储的所述检测信号进行处理后输出所述处理信号。

7.根据权利要求2至5的任意一项所述的波束监视系统，其特征在于，

对于假设了波束的轮廓的带电粒子束的信号，将模拟本监视系统的信号处理结构计算出的波束轮廓信息和异常照射时的所述带电粒子束的波束轮廓信息进行比较，求出所述带电粒子束的波束位置和波宽。

8.一种粒子束照射系统，其特征在于，具备权利要求1至7的任意一项所述的波束监视系统。