[发明专利]三嗪化合物、颜料分散助剂、颜料分散体和抗蚀剂组合物

权利要求书

1.一种三嗪化合物，其特征在于：

其由下述通式（1）表示，

式（1）中，R¹表示基团：基团：或基团：R²表示基团：基团：基团：、羟基或卤原子；R³、R⁴和R⁵相同或不同，表示氢原子、碳原子数1～4的烷基或碳原子数1～4的烷氧基，或者R³和R4或R⁴和R⁵互相结合形成苯环；R⁶表示氢原子、碳原子数1～4的烷基或碳原子数1～4的烷氧基；R⁷表示氢原子或碳原子数1～4的烷氧基；l为在式（1）所示的三嗪化合物1分子中的磺基的平均导入个数，表示1～2的数；m和n分别表示1～2的整数。

2.如权利要求1所述的三嗪化合物，其特征在于：

其由下述通式（2）表示，

式（2）中，R³、R⁴和R⁵相同或不同，表示氢原子、碳原子数1～4的烷基或碳原子数1～4的烷氧基，或者R³和R⁴或R⁴和R⁵互相结合形成苯环；R¹⁰和R¹¹相同或不同，表示基团：基团：或基团：；R⁷表示氢原子或碳原子数1～4的烷氧基，l为在式（2）所示的三嗪化合物1分子中的磺基的平均导入个数，表示1～2的数；n表示1～2的整数。

3.如权利要求2所述的三嗪化合物，其特征在于：

所述R¹⁰和R¹¹相同或不同，表示

基团：或基团：

R⁷表示氢原子或碳原子数1～4的烷氧基，n表示1～2的整数。

4.如权利要求2或3所述的三嗪化合物，其特征在于：

所述R¹⁰和所述R¹¹为相同的基团。

5.如权利要求1所述的三嗪化合物，其特征在于：

其为下述通式（3）所示的三嗪化合物，

式（3）中，R³、R⁴和R⁵相同或不同，表示氢原子、碳原子数1～4的烷基或碳原子数1～4的烷氧基，或者R³和R⁴或R⁴和R⁵互相结合形成苯环；R⁶表示氢原子、碳原子数1～4的烷基或碳原子数1～4的烷氧基；l为在式（3）所示的三嗪化合物1分子中的磺基的平均导入个数，表示1～2的数；m表示1～2的整数；X表示羟基、卤原子或基团：

R¹⁰表示基团：基团：或基团：；R⁷表示氢原子或碳原子数1～4的烷氧基；n表示1～2的整数。

6.如权利要求5所述的三嗪化合物，其特征在于：

所述R¹⁰为下述基团，

基团：

7.一种颜料分散助剂，其特征在于：

其含有权利要求1～6中任一项所述的三嗪化合物。

8.一种颜料分散体，其特征在于：

其含有颜料、颜料分散剂、权利要求7所述的颜料分散助剂和溶剂。

9.如权利要求8所述的颜料分散体，其特征在于：

颜料的体积平均粒径为10～100nm。

10.如权利要求8或9所述的颜料分散体，其特征在于：

所述颜料的含量为颜料分散体的总固体成分量的30～80重量%，且相对于所述颜料100重量份，含有10～60重量份的所述颜料分散剂，含有1～25重量份的所述颜料分散助剂。

11.一种抗蚀剂组合物，其特征在于：

其含有权利要求8～10中任一项所述的颜料分散体和感光性化合物。