[发明专利]蒸发源装置及真空蒸镀装置、以及有机EL显示装置的制造方法

权利要求书

1.一种蒸发源装置，其特征在于，具备：

蒸发源列，其由多个在纵向上排列的蒸发源构成，各蒸发源的一部分为了喷出蒸气而开口，各自的长轴相对于水平方向以规定的角度在相同方向上倾斜；以及

多个膜厚监视器，其与各个上述蒸发源对应地设置为与上述蒸发源相同的数量，对来自各个上述蒸发源的蒸镀材料的膜厚进行计测。

2.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，

上述蒸发源列相对于纵式配置的基板相对地在左右方向上进行一轴移动。

3.根据权利要求1或2所述的蒸发源装置，其特征在于，

上述蒸发源的坩埚结构为出口朝向横向。

4.一种真空蒸镀装置，其具有纵式配置基板的基板设置机构、以及蒸发源列，该真空蒸镀装置的特征在于，

上述蒸发源列由多个在纵向上排列的蒸发源构成，各蒸发源的一部分为了喷出蒸气而开口，各自的长轴相对于水平方向以规定的角度在同一方向上倾斜，

并且，上述真空蒸镀装置具备：

多个膜厚监视器，其与各个上述蒸发源对应地设置为与上述蒸发源相同的个数，对来自各个上述蒸发源的蒸镀材料的膜厚进行计测；

根据上述多个膜厚监视器计测的膜厚输出控制信号的膜厚控制计；以及

根据上述控制信号控制上述多个蒸发源的蒸发源电源。

5.根据权利要求4所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

还设置备用电源，上述备用电源在停电时向上述膜厚控制计及上述蒸发源电源供给电源，即使在停电时也能进行一定时间的坩埚的温度控制。

6.根据权利要求4或5所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

上述膜厚监视器具有孔眼。

7.根据权利要求6所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

上述膜厚监视器的上述孔眼是筒状的孔眼。

8.根据权利要求6所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

上述孔眼的内径是φ4～6mm。

9.根据权利要求4或5所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

具有用于从斜上部方向朝向上述蒸发源投入上述蒸镀材料的材料供给机，上述材料供给机在投入口具备冷却机构。

10.根据权利要求6所述的真空蒸镀装置，其特征在于，

具有用于从斜上部方向朝向上述蒸发源投入上述蒸镀材料的材料供给机，上述材料供给机在投入口具备冷却机构。

11.一种有机EL显示装置的制造方法，其利用封闭基板封闭形成有薄膜晶体管、有机EL层、以及夹着上述有机EL层的电极层的TFT基板，该有机EL显示装置的制造方法的特征在于，

在真空蒸镀装置的蒸镀室内纵式配置形成有薄膜晶体管的TFT基板，

与上述TFT基板相对地配设蒸发源列，该蒸发源列沿纵向配置了多个收放用于对上述有机EL层或电极层进行成膜的蒸镀材料的蒸发源，

上述蒸发源的长轴相对于水平方向以规定的角度倾斜配置，

通过对上述蒸发源的坩埚进行加热，使上述蒸镀材料蒸发，

通过使上述蒸发源列在上述纵向及与上述水平方向垂直的方向上移动，并在上述TFT基板上蒸镀上述蒸镀材料，从而形成上述有机EL层。

12.根据权利要求11所述的有机EL显示装置的制造方法，其特征在于，

在上述蒸镀室内具备用于向各个上述蒸发源供给蒸镀材料的材料供给机，上述材料供给机冷却上述蒸镀材料的投入口，防止上述蒸镀材料的堵塞，在维持上述蒸镀室的真空状态的状态下从上述蒸发源的斜上部方向供给上述蒸镀材料。

13.一种蒸镀装置，其使收放在蒸发源内的蒸发材料蒸发并在离开蒸发源配置的基板上成膜，该蒸镀装置的特征在于，

相对于一个蒸发源设置多个测定从上述蒸发源蒸发的蒸发材料的成膜量的膜厚计，该蒸镀装置具备蒸镀材料量计算单元，其根据该多个膜厚计中的至少两个膜厚计的成膜量的比，计算该蒸发源内的蒸发材料的量。

14.根据权利要求13所述的蒸镀装置，其特征在于，

具备多个上述蒸发源，上述至少两个膜厚计中的一个膜厚计兼做测定从相邻的蒸发源蒸发的蒸发材料的蒸镀膜厚度的膜厚计。