[发明专利]压电元件及压电元件的制造方法有效
| 申请号： | 201310054960.1 | 申请日： | 2013-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN103258951B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 大西孝生;清水秀树;植谷政之 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/053 | 分类号： | H01L41/053;H01L41/08;H01L41/29 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 丁文蕴,郑永梅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 元件 制造 方法 | ||
1.一种压电元件，其特征在于，
具有陶瓷基板和电极，
所述陶瓷基板在外表面上形成有槽，
所述电极形成在所述陶瓷基板的所述外表面上，并且跨越所述槽延伸，
在所述槽的底面与跨越该槽的部分的所述电极之间，形成有至少一个间隙。
2.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，
在所述电极的内部，形成有小于所述至少一个间隙的微细孔。
3.如权利要求2所述的压电元件，其特征在于，
跨越所述槽的部分的所述电极内的所述微细孔的体积比率，高于没有跨越所述槽的部分的所述电极内的所述微细孔的体积比率。
4.如权利要求1~3中任一项所述的压电元件，其特征在于，
所述电极的厚度为50nm以上且500nm以下。
5.如权利要求1~3中任一项所述的压电元件，其特征在于，
所述槽是在烧成所述陶瓷基板时形成在烧成面上的槽。
6.如权利要求1~3中任一项所述的压电元件，其特征在于，
所述槽沿着出现在所述陶瓷基板的外表面之中上表面上的晶粒的边界形成。
7.一种驱动器，其特征在于，
利用权利要求1~3中任一项所述的压电元件的d31方向的形变。
8.如权利要求1~3中任一项所述的压电元件，其特征在于，
在相对于所述陶瓷基板的所述上表面成为相反侧的外表面的背面上形成有槽，
还具有形成在所述背面上且跨越所述背面的槽而延伸的电极，
在所述背面的槽的底面与跨越该槽的部分的所述电极之间，形成有至少一个间隙。
9.一种压电元件的制造方法，其特征在于，包括：
在形成有槽的陶瓷基板的表面上，形成跨越所述槽而延伸的电极的工序；以及
通过加热陶瓷基板，使所述电极从所述槽的底面剥离的工序。
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