[发明专利]射频控制系统

权利要求书

1.一种射频（RF）控制系统，包括：

功率放大器，用于将RF信号输出至负载；

传感器，用于监控所述RF信号并且基于所述RF信号生成传感器信号；

能量检测电路，用于根据所述传感器信号确定所述RF信号的能量；以及

功率放大器能量调节电路，用于根据由所述能量检测电路确定的能量生成用于改变所述RF信号的控制信号。

2.根据权利要求1所述的RF控制系统，进一步包括：

功率检测电路，用于根据所述传感器信号确定所述RF信号的功率。

3.根据权利要求2所述的RF控制系统，进一步包括：

功率放大器功率调节电路，用于根据由所述功率检测电路确定的功率生成功率补偿信号。

4.根据权利要求3所述的RF控制系统，进一步包括：

功率加法电路，用于接收来自所述功率检测电路的输出信号和功率设置点信号并对它们执行加法操作，其中，将所述功率加法电路的输出输入至所述功率调节电路并且根据所述功率加法电路的输出改变所述功率补偿信号。

5.根据权利要求2所述的RF控制系统，进一步包括：

能量加法电路，用于接收来自所述能量检测电路的输出信号和能量设置点信号并对它们执行加法操作，其中，将所述能量加法电路的输出输入至所述功率放大器能量调节电路并且根据所述能量加法电路的输出改变来自所述功率放大器能量调节电路的所述控制信号。

6.根据权利要求5所述的RF控制系统，其中所述能量加法电路接收外部能量测量信号，其中，根据所述功率传输控制系统外部的传感器输出的信号改变所述外部能量测量信号。

7.根据权利要求6所述的RF控制系统，其中所述功率传输控制系统外部的所述传感器设置在匹配网络和所述负载之间。

8.根据权利要求1所述的RF控制系统，其中所述传感器位于与所述负载连接的匹配网络之前。

9.根据权利要求1所述的RF控制系统，其中所述RF信号是连续波信号。

10.根据权利要求1所述的RF控制系统，其中所述RF信号是脉冲信号。

11.根据权利要求10所述的RF控制系统，其中所述RF信号包括正弦信号和用于调整所述正弦信号的调制信号，并且其中所述能量检测电路确定所述调制信号的能量以确定所述RF信号的能量。

12.根据权利要求11所述的RF控制系统，其中所述能量检测电路确定多个块中的所述调制信号的能量，其中，每个块是时间的预定长度，并且通过增加为所述每个块确定的能量来确定所述RF信号的能量。

13.根据权利要求11所述的RF控制系统，其中所述调制信号具有方波、锯齿波、正弦信号或者它们的组合的至少之一的形状。

14.一种射频（RF）控制系统，包括：

功率放大器，用于将RF信号输出至负载；

传感器，用于监控所述RF信号并且基于所述RF信号生成传感器信号；

能量检测电路，用于根据所述传感器信号确定所述RF信号的能量；

功率检测电路，用于根据所述传感器信号确定所述RF信号的功率；以及

功率放大器能量调节电路，用于根据由所述能量检测电路确定的能量和所述功率检测电路确定的功率生成用于改变所述RF信号的控制信号，

其中，所述RF信号包括第一信号和用于调制所述第一信号的第一调制信号，并且其中所述能量检测电路确定所述第一调制信号的能量以确定所述RF信号的能量。

15.根据权利要求14所述的RF控制系统，其中所述第一调制信号包括第一特征部分和第二特征部分。

16.根据权利要求15所述的RF控制系统，其中所述能量检测电路确定多个块中的所述第一调制信号的能量，其中，每个块是时间的预定长度，并且通过增加为所述每个块确定的能量来确定所述RF信号的能量。

17.根据权利要求16所述的RF控制系统，其中所述第一特征部分包括第一数量的块，并且其中增加为所述第一数量的块确定的能量以确定所述第一特征部分的能量。