[发明专利]自组织单量子点的定位方法及装置有效

专利信息
申请号: 201310056260.6 申请日: 2013-02-19
公开(公告)号: CN103163109A 公开(公告)日: 2013-06-19
发明(设计)人: 尚向军;倪海桥;査国伟;喻颖;李密峰;王莉娟;徐建星;牛智川 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: G01N21/64 分类号: G01N21/64
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 宋焰琴
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 组织 量子 定位 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种定位自组织单量子点的装置,其包括:

激光器,其用于产生激发光,所述激发光沿光路经显微物镜汇聚,照射在量子点样品表面微区,激发所述微区中的量子点产生荧光光束;

紫外光源装置,其用于产生紫外光;

显微物镜,其用于汇聚所述激发光和紫外光到所述量子点样品表面的微区,并收集所述量子点样品表面的微区中量子点发出的荧光光束,其还用于扫描量子点样品表面;

光谱仪,其用于表征所述荧光光束,得到荧光光谱;

其中,在所述荧光光谱中找到单量子点发出的荧光对应的分立谱线后,所述显微物镜停止扫描,并打开所述紫外光源装置对当前扫描的量子点样品表面微区的光刻胶进行曝光,以定位自组织单量子点的位置。

2.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述量子点样品表面涂有负性光刻胶,其感应所述紫外光源装置发出的紫外光,而对所述激光器发出的激发光和量子点荧光透明。

3.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述激发光和紫外光通过第一分束器合束,共用一条光路。

4.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述显微物镜将所述激发光和紫外光汇聚到所述量子点样品表面,且照射在所述量子点样品上的激发光光斑和紫外光光斑基本重合。

5.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述装置还包括第二分束器、滤光片和透镜,所述显微物镜收集的荧光光束经所述第二分束器透射并经所述滤光片滤除激发光和紫外光后,被所述透镜聚焦到所述光谱仪的入射狭缝。

6.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述激光器为氦氖激光器;所述紫外光光源装置为固体激光器、半导体激光器或经扩束、准直和滤光的汞灯之一。

7.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述装置还包括挡板和衰减片组,其中所述挡板用于开关所述紫外光,而所述衰减片组用于调整所述紫外光强度。

8.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述自组织单量子点为发光波长在近红外波段的自组织铟砷单量子点。

9.一种自组织单量子点的定位方法,其包括:

步骤1、将表面预涂负性光刻胶的量子点样品放入杜瓦中;

步骤2、由激光器发出的激发光经显微物镜汇聚后,照射所述量子点样品表面的微区;

步骤3、用显微物镜对所述量子点样品表面进行扫描,并收集所述微区中的量子点发出的荧光光束;

步骤4、由光谱仪表征所述荧光光束,获得荧光光谱;

步骤5、从所述荧光光谱找到单量子点发出的荧光对应的分立谱线,并停止扫描;

步骤6、对停止扫描时所述显微物镜聚焦的所述量子点样品表面的微区进行紫外光曝光,以定位自组织单量子点的位置。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院半导体研究所,未经中国科学院半导体研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201310056260.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top