[发明专利]描绘设备以及制造物品的方法

权利要求书

1.一种利用多个带电粒子束在衬底上描绘图案的描绘设备，所述描绘设备包括：

带电粒子光学系统，被配置为将多个带电粒子束发射到衬底上；以及

控制器，被配置为控制带电粒子光学系统的操作，

其中控制器被配置为控制所述操作以便补偿基于衬底的表面的起伏的第一数据和多个带电粒子束中的每一个带电粒子束相对于带电粒子光学系统的轴的倾斜的第二数据而确定的图案的畸变。

2.根据权利要求1所述的描绘设备，其中控制器被配置为控制所述操作以便补偿所述图案相对于已经在衬底上形成的图案的畸变。

3.根据权利要求1所述的描绘设备，其中控制器被配置为基于根据第一数据和第二数据确定的多个带电粒子束中的每一个带电粒子束在衬底上的位置来改变将被给予带电粒子光学系统的描绘数据。

4.根据权利要求1所述的描绘设备，其中

带电粒子光学系统包括多个偏转器，所述多个偏转器被配置为分别使多个带电粒子束偏转以便分别在衬底上扫描多个带电粒子束，以及

控制器被配置为基于根据第一数据和第二数据确定的多个带电粒子束中的每一个带电粒子束在衬底上的位置来改变对于多个偏转器的命令。

5.根据权利要求1所述的描绘设备，还包括被配置为测量所述起伏的测量装置。

6.一种制造物品的方法，所述方法包括如下步骤：

通过使用在权利要求1到5中的一项中限定的描绘设备在衬底上执行描绘；

使已经经受描绘的衬底显影。