[发明专利]基于状态的功率和频率调节

权利要求书

1.一种系统，其包括：

耦合到电极的主发生器，所述主发生器包括用于将主RF信号提供给所述电极的主功率供应器，所述主发生器进一步包括自动频率控制单元以在脉冲信号处于第一状态时将第一频率输入提供给所述主功率供应器；

耦合到所述电极的从发生器，所述从发生器包括用于将从RF信号提供给所述电极的从功率供应器，所述从发生器包括自动频率控制单元以在所述脉冲信号处于所述第一状态时将第二频率输入提供给所述从功率供应器，所述从发生器包括自动频率控制单元以在所述脉冲信号处于第二状态时将第三频率输入提供给所述从功率供应器；以及

用于产生所述脉冲信号的数字脉冲源。

2.如权利要求1所述的系统，其中所述从发生器包括选择器以将接收自数字信号处理器的所述第二频率输入传递给所述从功率供应器或者将接收自所述数字信号处理器的所述第三频率输入传递给所述从功率供应器。

3.一种系统，其包括：

等离子体室，其包括具有用于支撑衬底的表面的下电极以及位于所述下电极上方的上电极，所述上电极被电气接地；

耦合到所述下电极的主发生器，所述主发生器包括用于将主RF信号提供给所述下电极的主功率供应器；

耦合到所述下电极的从发生器，所述从发生器包括用于将从RF信号提供给所述下电极的从功率供应器；

用于产生脉冲信号的数字脉冲源，所述数字脉冲源被耦合到所述主发生器和所述从发生器，其中所述脉冲信号在两个状态之间转变，

所述主发生器包括第一自动频率控制单元以在所述脉冲信号处于第一状态时将第一频率输入提供给所述主功率供应器；

所述从发生器包括第二自动频率控制单元以在所述脉冲信号处于所述第一状态时将第二频率输入提供给所述从功率供应器；

所述从发生器包括第三自动频率控制单元以在所述脉冲信号处于第二状态时将第三频率输入提供给所述从功率供应器。

4.如权利要求3所述的系统，其进一步包括耦合在所述数字脉冲源和所述第二及第三自动频率控制单元之间的选择器以在所述第二自动频率控制单元和所述第三自动频率控制单元之间进行选择以将所述第二频率输入或所述第三频率输入提供给所述从功率供应器，所述选择器被配置来基于所述脉冲信号的所述状态在所述第二自动频率控制单元和所述第三自动频率控制单元之间进行选择。

5.如权利要求3所述的系统，其中所述两个状态中的一个是导通状态而所述两个状态中的另一个是截止状态。

6.如权利要求3所述的系统，其中所述主RF信号比所述从RF信号具有较低的频率。

7.如权利要求3所述的系统，

其中所述主RF信号在所述脉冲信号处于所述第一状态时处于第一功率电平而在所述脉冲信号处于所述第二状态时处于第二功率电平，其中所述第一功率电平高于所述第二功率电平，

其中所述从RF信号在所述脉冲信号处于所述第一状态时处于第三功率电平而在所述脉冲信号处于所述第二状态时处于第四功率电平，所述第三功率电平低于所述第四功率电平。

8.如权利要求7所述的系统，其中所述第三功率电平是零或正数。

9.如权利要求3所述的系统，

其中所述主RF信号在所述脉冲信号处于所述第一状态时处于第一功率电平而在所述脉冲信号处于所述第二状态时处于第二功率电平，其中所述第一功率电平高于所述第二功率电平，

其中所述从RF信号在所述脉冲信号处于所述第一状态时处于第三功率电平而在所述脉冲信号处于所述第二状态时处于第四功率电平，所述第三功率电平与所述第四功率电平相同。

10.如权利要求9所述的系统，其中所述第三功率电平是正数。

11.如权利要求3所述的系统，

其中所述主RF信号在所述脉冲信号处于所述第一状态时处于第一功率电平而在所述脉冲信号处于所述第二状态时处于第二功率电平，其中所述第一功率电平高于所述第二功率电平，

其中所述从RF信号在所述脉冲信号处于所述第一状态时处于第三功率电平而在所述脉冲信号处于所述第二状态时处于第四功率电平，所述第三功率电平高于所述第四功率电平。

12.如权利要求11所述的系统，其中所述第三功率电平是零或正数。