[发明专利]流体自动定量供给的控制方法及系统有效
申请号: | 201310059135.0 | 申请日: | 2013-02-25 |
公开(公告)号: | CN103197694A | 公开(公告)日: | 2013-07-10 |
发明(设计)人: | 卜斌;李太亮;陈一民;肖磊 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | G05D9/12 | 分类号: | G05D9/12 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 韩国胜 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 流体 自动 定量 供给 控制 方法 系统 | ||
技术领域
本发明涉及流体自动定量供给技术领域,特别是涉及一种流体自动定量供给的控制方法及系统。
背景技术
液晶显示器的主体结构包括对盒的阵列基板和彩膜基板,其中,阵列基板上形成有像素矩阵、周边电路,以及形成在每个像素区域内的透明像素电极,彩膜基板上形成有与透明像素电极位置对应的RGB彩色滤光片和透明公共电极。而阵列基板和彩膜基板上的各图案一般是通过掩膜构图工艺形成的,在这个过程中需要在基板上涂覆光刻胶,为了保证曝光效果,需要实现光刻胶的定量供给。
结合图2所示,现有的光刻胶自动供给装置包括气体通路1和供光刻胶流通的流体通路2,盛有光刻胶的供给容器3放置在密封罐4内。其中,气体通路1与密封罐4连通,流体通路2的一端设置在供给容器3中,通过向密封罐4内不断通入气体20(如:工业氮气),以气动方式将供给容器3中的光刻胶通过流体通路2另一端的喷嘴7喷出,涂覆在基板上。该装置实现光刻胶定量供给的具体过程为:
首先,在气体通路1端进行时间变量参数的采集:
在气体通路1上设置电磁阀5,并在光刻胶的喷嘴7处设置位置传感器10。当位置传感器10感应到机械手将基板放入到装置内的合适位置时,触发喷胶,控制装置8打开电磁阀5,开始计时;
然后,通过控制装置8控制每次供给的时间来达到光刻胶的定量供给:
当计时时刻到时,控制装置8闭合电磁阀5切断气体通路1;
一般还需要设置放气通路9,其一端与密封罐4连通,并在该通路上设置电磁阀6,光刻胶定量供给时电磁阀6闭合,在每次光刻胶定量供给后,通过控制装置8控制打开电磁阀6放气一段时间(一般为3-5s),使得密封罐4的压力恢复大气压。
但随着供给的次数增多,供给容器内液面的下降导致密封罐内的气体空间扩大,供给的出液液面相对变高,导致在相同的喷胶时间内喷出的胶量变少,根据测量变化量明显,不能满足光刻胶定量供给的精度要求。
发明内容
(一)要解决的技术问题
本发明要解决的技术问题是提供一种流体自动定量供给的控制方法及系统,用以保证多次流体自动定量供给的精度要求。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题,本发明提供一种流体自动定量供给的控制方法,包括步骤S2:
向密封罐内存储一定量的流体,计时向所述密封罐内通入气体使得所述密封罐内的压力达到设定值时所需的时间t,根据预定公式计算出继续向所述密封罐内通入气体压出固定体积流体所需的时间T,以自动控制气体通路的通断。
如上所述的流体自动定量供给的控制方法,其特征在于,所述预定公式的获取步骤S1为:
获取向密封罐内通入气体使得所述密封罐内的压力达到所述设定值时所需的时间ti,以及继续向所述密封罐内通入气体,并从所述密封罐内压出固定体积流体所需的时间Ti之间的关系:Ti=f(ti)。
如上所述的流体自动定量供给的控制方法,优选的是,步骤S1具体包括以下步骤:
100、在所述密封罐内存储一定量的流体,并记i=0;
101、向所述密封罐内通入一段时间ti的气体,使得所述密封罐内的压力达到所述设定值,并存储ti;
102、继续向所述密封罐内通入一段时间Ti的气体,使得从所述密封罐内压出的流体体积为固定值,并存储Ti;
103、i+1;
104、当i≤n时,重复步骤101、102、和103;
105、当i>n时,根据所述多组ti和Ti计算出中pm的值,其中,ε为与液体的运动粘度相关的常数。
如上所述的流体自动定量供给的控制方法,优选的是,n≥4。
如上所述的流体自动定量供给的控制方法,优选的是,在向所述密封罐内通入气体之前,根据所述密封罐内存储的流体的运动粘度调节气体通路上气体的压力。
同时,本发明还提供一种流体自动定量供给的控制系统,其包括控制装置和压力传感器;所述压力传感器用于感应密封罐内的压力;所述控制装置包括计时模块和控制模块;
所述计时模块用于计时向所述密封罐内通入气体使得所述密封罐内的压力达到设定值时所需的时间t;
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