[发明专利]检测硅熔汤外泄的方法

权利要求书

1.一种检测硅熔汤外泄的方法，适用于检测一炉体内的坩埚内的硅熔汤的外泄，其中所述坩埚的外围包覆有多个石墨板材，所述检测硅熔汤外泄的方法包含：

利用一气体检测器进行一检测步骤，以检测所述炉体内的一氧化碳的含量或二氧化碳的含量；

将所述坩埚的加热温度维持在一稳定状态时，所检测到的一氧化碳或二氧化碳的第一含量值作为一基准；以及

进行一判断步骤，以判断所述硅熔汤是否自该坩埚外泄，

其中当后续所检测到的一氧化碳或二氧化碳的第二含量值相对于第一含量值呈一陡升状况时，判断所述硅熔汤外泄。

2.如权利要求1所述的检测硅熔汤外泄的方法，其中进行检测步骤包含将所述气体检测器设置在所述炉体内。

3.如权利要求1所述的检测硅熔汤外泄的方法，其中进行检测步骤包含将所述气体检测器设置在一出气管路中，所述出气管路与所述炉体的一气体出口连通。

4.如权利要求1所述的检测硅熔汤外泄的方法，其中所述气体检测器为一红外线光谱仪。

5.一种检测硅熔汤外泄的方法，适用于检测一炉体内的坩埚内的硅熔汤的外泄，其中所述坩埚的外围包覆有多个石墨板材，所述检测硅熔汤外泄的方法包含：

利用一气体检测器进行一检测步骤，以检测所述炉体内的一氧化碳与二氧化碳的总含量；

将所述坩埚的加热温度维持在一稳定状态时，所检测到的一氧化碳与二氧化碳的第一总含量值作为一基准；以及

进行一判断步骤，以判断所述硅熔汤是否自所述坩埚外泄，

其中当后续所检测到的一氧化碳与二氧化碳的第二总含量值相对于第一总含量值呈一陡升状况时，判断所述硅熔汤外泄。

6.如权利要求5所述的检测硅熔汤外泄的方法，其中进行检测步骤包含将所述气体检测器设置在所述炉体内。

7.如权利要求5所述的检测硅熔汤外泄的方法，其中进行检测步骤包含将所述气体检测器设置在一出气管路中，所述气体管路与所述炉体的一出气管路连通。

8.如权利要求5所述的检测硅熔汤外泄的方法，其中所述气体检测器为一红外线光谱仪。