[发明专利]基于石英晶片为分束片的L型光泵气体太赫兹激光谐振腔及含有该谐振腔的激光器

权利要求书

1.基于石英晶片为分束片的L型光泵气体太赫兹激光谐振腔，其特征在于，它包括：ZnSe增透窗片(1)、Z-cut石英晶片(2)、全反射金镜(3)、金属网栅片(4)和TPX窗片(5)、短直筒(6)和长直筒(7)；

短直筒(6)的一端与长直筒(7)的侧壁固定连接，并且短直筒(6)的内部与长直筒(7)的内部连通，短直筒(6)的中心轴线与长直筒(7)的中心轴线的夹角为90°；

长直筒(7)的一端与全反射金镜(3)固定连接，另一端与TPX窗片(5)固定连接，Z-cut石英晶片(2)和金属网栅片(4)均位于长直筒(7)内，且金属网栅片(4)位于Z-cut石英晶片(2)和TPX窗片(5)之间，所述金属网栅片(4)与TPX窗片(5)相互平行，Z-cut石英晶片(2)的中心与金属网栅片(4)所在平面的距离为60mm；

短直筒(6)的另一端与ZnSe增透窗片(1)固定连接，垂直于ZnSe增透窗片(1)的光束入射至短直筒(6)内后，经Z-cut石英晶片(2)的反射面反射后、垂直入射至全反射金镜(3)的反射面，ZnSe增透窗片(1)所在平面与Z-cut石英晶片(2)的中心距离为60mm；

ZnSe增透窗片(1)、全反射金镜(3)、TPX窗片(5)、短直筒(6)和长直筒(7)形成密闭的腔体。

2.根据权利要求1所述的基于石英晶片为分束片的L型光泵气体太赫兹激光谐振腔，其特征在于，谐振腔内充入有太赫兹增益气体，所述太赫兹增益气体为D₂O、CH₃F或NH₃，气体压强在100Pa-3000Pa之间。

3.根据权利要求1所述的基于石英晶片为分束片的L型光泵气体太赫兹激光谐振腔，其特征在于，所述金属网栅片(4)对太赫兹激光的反射率在0.1-0.3之间。

4.根据权利要求1所述的基于石英晶片为分束片的L型光泵气体太赫兹激光谐振腔，其特征在于，所述TPX窗片(5)对太赫兹激光的透过率在0.82-0.94之间。

5.含有权利要求1、2、3或4所述的基于石英晶片为分束片的L型光泵气体太赫兹激光谐振腔的激光器，其特征在于，它包括：基于石英晶片为分束片的L型光泵气体太赫兹激光谐振腔、金属原刻光栅(8)、第二ZnSe增透窗片(9)、二氧化碳激光器放电腔(10)、二氧化碳激光器输出耦合镜(11)、二氧化碳激光分束片(12)、真空和配气系统(13)和太赫兹激光增益气体储存腔体(14)；

第二ZnSe增透窗片(9)与二氧化碳激光器放电腔(10)的一端固定连接，二氧化碳激光器输出耦合镜(11)与二氧化碳激光器放电腔(10)的另一端固定连接，可旋转的金属原刻光栅(8)位于第二ZnSe增透窗片(9)一侧，二氧化碳激光器输出耦合镜(11)的所在平面与ZnSe增透窗片(1)的所在平面平行，二氧化碳激光分束片(12)位于二氧化碳激光器输出耦合镜(11)和ZnSe增透窗片(1)之间；

太赫兹激光增益气体储存腔体(14)通过真空和配气系统(13)与基于石英晶片为分束片的L型光泵气体太赫兹激光谐振腔用真空波纹管连接。