[发明专利]改良西门子法联产制备高纯硅烷的方法

权利要求书

1.改良西门子法联产制备高纯硅烷的方法，其特征是改良西门子法制备多晶硅提纯歧化工序生成的高纯三氯氢硅，一部分继续原来路线进入还原工序沉积得到多晶硅；一部分进入硅烷制备工序，得到高纯硅烷产品和副产四氯化硅。

2.如权利要求1所述的方法，其特征是硅烷制备工序由一级歧化反应器（1）、一级精馏塔（2）、二级精馏塔（3）、二级歧化反应器（4）和三级精馏塔（5）组成：高纯三氯氢硅首先进入一级歧化反应器（1），得到反应生成的二氯二氢硅、四氯化硅和未反应的三氯氢硅，进入一级精馏塔（2）；一级精馏塔（2）塔顶得到二氯二氢硅和三氯氢硅进入二级精馏塔（3），塔釜得到四氯化硅返回氢化工序；二级精馏塔（3）塔顶得到二氯二氢硅进入二级歧化反应器（4），塔釜得到三氯氢硅，进入一级反应器（1）；经过二级反应器（4）得到反应生成的硅烷、三氯氢硅和未反应的二氯二氢硅，进入三级精馏塔（5）；三级精馏塔（5）塔顶得到高纯硅烷产品，塔釜得到二氯二氢硅和三氯氢硅，返回二级精馏塔（3）。