[发明专利]DCS歧化制硅烷的西门子联产工艺

权利要求书

1.DCS歧化制硅烷的西门子联产工艺，其特征是，在改良西门子法制备多晶硅工艺还原精馏单元（5）后面连接歧化反应单元（6）、硅烷产品精馏单元（7）和二氯二氢硅精馏单元（8）；还原精馏单元（5）得到的高纯二氯二氢硅进入歧化反应单元（6）进行歧化反应，歧化反应生产的硅烷中间产品进入硅烷产品精馏单元（7），经过精馏提纯得到高纯的硅烷产品，剩余的氯硅烷则进入二氯二氢硅精馏单元（8）进行回收利用，二氯二氢硅精馏单元分离得到的二氯二氢硅等低沸物返回歧化反应单元（6）继续进行歧化反应，而三氯氢硅和少量的四氯化硅则返回还原精馏单元（5）进行提纯。

2.如权利要求1所述的工艺，其特征是步骤如下：

1）将原料送入氢化单元（1）反应得到混合氯硅烷；

2）混合氯硅烷通过精馏及反歧化单元（2）获得高纯三氯氢硅产品，四氯化硅则返回氢化单元（1）循环利用；

3）精馏及反歧化单元（2）获得的高纯三氯氢硅产品进入三氯氢硅还原单元（3）生产多晶硅；

4）生产多晶硅过程中产生的尾气经过还原尾气回收单元（4），回收得到氯硅烷还原干法回收料；

5）将得到的氯硅烷还原干法回收料经过还原精馏单元（5）进行组分分离，回收的高纯三氯氢硅产品返回三氯氢硅还原单元（3）继续反应，高纯二氯二氢硅则进入歧化反应单元（6），四氯化硅返回氢化单元（1）；

6）将获得的高纯二氯二氢硅进入歧化反应单元（6）进行歧化反应生产硅烷中间产品；

7）将步骤6）方法生产的硅烷中间产品通过硅烷产品精馏单元（7）提纯得到高纯的硅烷产品，塔釜得到混合氯硅烷；

8）将步骤7）得到的混合氯硅烷进入二氯二氢硅精馏单元（8）进行分离，回收的二氯二氢硅和一氯三氢硅返回歧化反应单元（6）继续进行歧化反应，回收的三氯氢硅和少量四氯化硅返回还原精馏单元（5）进行提纯。