[发明专利]一种镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜材料及其制备方法

权利要求书

1.一种镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜材料，其特征在于：该复合薄膜材料的组成为NiO：0~50%，La_0.7Sr_0.3MnO₃:50~100%。

2.按照权利要求1所述的镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜材料，其特征在于：该复合薄膜材料的居里温度为200~345K。

3.按照权利要求1所述的镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜材料，其特征在于：该复合薄膜材料具有均匀分布的纳米晶粒，而且具有001晶面取向。

4.按照权利要求1所述的镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜材料，其特征在于：该复合薄膜材料的厚度为10~25nm。

5.权利要求1所述的镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜材料的制备方法，其特征在于：该方法的具体步骤如下：

（1）利用固态粉末烧结方法制备纯相的镧锶锰氧和氧化镍靶材：利用固态烧结法，按照La:Sr:Mn=0.7:0.3:1的摩尔比混合镧氧化物、锶氧化物和锰氧化物粉体，通过成型、烧结制备纯相的镧锶锰氧靶材；将氧化镍粉体压制成型，利用固态烧结法制备氧化镍靶材；

（2）把步骤（1）制备的镧锶锰氧靶材和氧化镍靶材安放在脉冲激光沉积设备的沉积室中；

（3）利用脉冲激光沉积法在基板温度为650~750°C和25~50Pa氧压的条件下，用激光先后轰击镧锶锰氧靶材10~30秒，氧化镍靶材0~10秒，在基板上沉积镧锶锰氧和氧化镍；

（4）重复步骤（3）过程，制得厚度为10~25nm的镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜。

6.按照权利要求5所述的镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜材料的制备方法，其特征在于：步骤（3）中，所述基板为SrTiO₃，基板需要用丙酮和酒精清洗，然后在10⁵Pa的氧压下，750°C保温30分钟。

7.按照权利要求5所述的镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜材料的制备方法，其特征在于：所述步骤（4）成膜结束后，制备得到的纳米复合薄膜材料在一个大气压下原位退火30分钟，然后以2°C/min的速率冷却到室温。