[发明专利]集成光栅压电调制闭环高精度微加速度传感器

权利要求书

1.一种集成光栅压电调制闭环高精度微加速度传感器，包括外壳，外壳内设有沿光路依次布置的光源、光栅、压电陶瓷部件和MEMS传感机构；所述MEMS传感机构包括质量块和连接所述质量块的悬臂梁，所述质量块朝向光栅的一面为光反射面；还设有用于检测干涉光束光强的光电探测器，所述的干涉光束为被光栅反射的光束和被光反射面反射的光束发生干涉形成；以及用于根据所述光电探测器信号计算相应加速度的信号处理模块；其特征在于，设有固定在质量块的底部的第一电磁力发生装置，以及位于外壳内且与所述第一电磁力发生装置相配合的第二电磁力发生装置，以及向所述第一电磁力发生装置和第二电磁力发生装置输送电流的电流驱动模块，所述电流驱动模块与信号处理模块连接。

2.如权利要求1所述的集成光栅压电调制闭环高精度微加速度传感器，其特征在于，所述外壳包括用于支撑MEMS传感机构的底座，所述底座带有与所述质量块相适应的容纳腔。

3.如权利要求2所述的集成光栅压电调制闭环高精度微加速度传感器，其特征在于，所述第一电磁力发生装置为第一多层平面螺旋线圈，所述第二电磁力发生装置为固定在容纳腔底部的第二多层平面螺旋线圈。

4.如权利要求3所述的集成光栅压电调制闭环高精度微加速度传感器，其特征在于，所述第一多层平面螺旋线圈和第二多层平面螺旋线圈为4~16层。

5.如权利要求4所述的集成光栅压电调制闭环高精度微加速度传感器，其特征在于，所述第一多层平面螺旋线圈和第二多层平面螺旋线圈中，每一单层平面螺旋线圈带有位于中心部位的电流输出端和位于边缘的电流输入端。

6.如权利要求5所述的集成光栅压电调制闭环高精度微加速度传感器，其特征在于，所述第二多层平面螺旋线圈的直径大于第一多层平面螺旋线圈的直径。

7.如权利要求1所述的集成光栅压电调制闭环高精度微加速度传感器，其特征在于，设有用于驱动压电陶瓷部件形变的压电驱动模块，所述压电驱动模块与信号处理模块连接。

8.如权利要求7所述的集成光栅压电调制闭环高精度微加速度传感器，其特征在于，所述MEMS传感机构还包括一矩形框，所述质量块位于矩形框的中部，所述悬臂梁连接在所述质量块和矩形框之间。