[发明专利]微机械传感器装置和相应制造方法以及相应的应用

权利要求书

1.一种微机械传感器装置，具有：

衬底（S1；S1；S1’），其具有前侧（V；V1；V1’）和背侧（R；R1；R1’）；

其中在前侧（V；V1；V1’）上集成第一微机械传感器装置（M1；M11；M11’），而在背侧（R；R1；R1’）上集成第二微机械传感器装置（M2；M12；M12’）。

2.根据权利要求1所述的微机械传感器装置，其中至少一个穿通接触孔（D）从第一微机械传感器装置（M1）通过衬底（S）延伸至第二微机械传感器装置（M2）。

3.根据权利要求1或2所述的微机械传感器装置，其中第一微机械传感器装置（M11）包括惯性传感器，而第二微机械传感器装置（M12）包括磁场传感器。

4.根据上述权利要求之一所述的微机械传感器装置，其中至少另一衬底（S2；S2’）接合到前侧（V；V1；V1’）和/或背侧（R；R1；R1’）上。

5.根据权利要求4所述的微机械传感器装置，其中所述另一衬底（S2；S2’）是帽形晶片。

6.一种用于制造微机械传感器装置的方法，具有如下步骤：

第一步骤（SS1），其中在衬底（S，S1；S1’）的前侧（V；V1；V1’）上集成第一微机械传感器装置（M1；M11；M11’;）；

第二步骤（SS2），其中对衬底（S）进行转动，以及

第三步骤（SS3），其中在衬底（S；S1；S1’）的背侧（R；R1；R1’）上集成第二微机械传感器装置（M2；M12；M12’）。

7.根据权利要求6所述的方法，其中在第四步骤（SS4）中至少另一衬底（S2；S2’）接合到前侧（V；V1；V1’）和/或背侧（R；R1；R1’）上。

8.根据权利要求6所述的方法，其中在第一步骤（SS1）期间将背侧（R；R1；R1’）钝化。

9.根据权利要求6所述的方法，其中在第三步骤（SS3）期间将前侧（V；V1；V1’）钝化。

10.根据权利要求1至5之一所述的微机械传感器装置的一种应用，该应用是将所述的微机械传感器装置使用在用于导航的器件中。