[发明专利]感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有机电致发光显示装置以及液晶显示装置在审
申请号: | 201310061402.8 | 申请日: | 2013-02-27 |
公开(公告)号: | CN103293858A | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 山﨑健太;米泽裕之;霜山达也;川岛敬史;下野胜弘;山田悟;汤本真敏;安藤豪 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/039 | 分类号: | G03F7/039;G03F7/004;G03F7/00;G02F1/1333;H01L51/52;H01L27/32 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 臧建明 |
地址: | 日本东京港区*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 硬化 制造 方法 有机 电致发光 显示装置 以及 液晶 | ||
1.一种正型感光性树脂组合物,包括:(A)满足下述(1)及下述(2)的至少一个的聚合物成分,
(1)(A1)具有含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元(a1)、含有由-NH-CH2-O-R所表示的部分结构的构成单元(a2),其中R为碳数为1~20的烷基、及所述(a2)以外的含有交联基的构成单元(a3)的共聚物,
(2)(A2)具有含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元(a1)、及含有由-NH-CH2-O-R(R为碳数为1~20的烷基)所表示的部分结构的构成单元(a2)的共聚物,以及(C)具有所述(a2)以外的含有交联基(c2)的构成单元的聚合物;
(B)光酸产生剂;以及
(D)溶剂。
2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,其中:所述构成单元(a2)为由下述通式(1)所表示的构成单元,
通式(1)
所述式中,R1表示氢原子或甲基,R2表示碳数为1~20的烷基。
3.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物,其中:所述构成单元(a1)为由式(A2′)所表示的构成单元,
式(A2′)
式中,R1及R2分别表示氢原子、烷基或芳基,至少R1及R2的任一个为烷基或芳基,R3表示烷基或芳基,R1或R2与R3可连结而形成环状醚,R4表示氢原子或甲基,X表示单键或亚芳基。
4.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物,其中:所述(A)聚合物成分中所含有的任一种聚合物包括含有羧酸的构成单元作为其他构成成分(a4)。
5.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物,其中:所述构成单元(a2)或构成单元(c2)为含有环氧基和/或氧杂环丁基的构成单元。
6.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物,其中:包括肟磺酸酯化合物或鎓盐化合物作为(B)光酸产生剂。
7.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物,其中:正型感光性组合物中所含有的总聚合物成分的10摩尔%以上为所述构成单元(a2),总聚合物成分的20摩尔%以上为所述构成单元(a3)和/或所述构成单元(c2)。
8.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物,其中:正型感光性树脂组合物中所含有的聚合物的30质量%以上为所述(1)共聚物。
9.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物,其中:所述(A)聚合物成分中所含有的任一种聚合物包括含有羧酸的构成单元作为其他构成成分(a4),所述构成单元(a2)或构成单元(c2)为含有环氧基和/或氧杂环丁基的构成单元。
10.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物,其中:所述(A)聚合物成分中所含有的任一种聚合物包括含有羧酸的构成单元作为其他构成成分(a4),正型感光性树脂组合物中所含有的聚合物的30质量%以上为所述(1)共聚物。
11.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物,其中:所述构成单元(a2)或构成单元(c2)为含有环氧基和/或氧杂环丁基的构成单元,正型感光性组合物中所含有的总聚合物成分的10摩尔%以上为所述构成单元(a2),总聚合物成分的20摩尔%以上为所述构成单元(a3)和/或所述构成单元(c2)。
12.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物,其中:所述(A)聚合物成分中所含有的任一种聚合物包括含有羧酸的构成单元作为其他构成成分(a4),所述构成单元(a2)或构成单元(c2)为含有环氧基和/或氧杂环丁基的构成单元,正型感光性组合物中所含有的总聚合物成分的10摩尔%以上为所述构成单元(a2),总聚合物成分的20摩尔%以上为所述构成单元(a3)和/或所述构成单元(c2)。
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