[发明专利]一种激光二极管有效
申请号: | 201310064214.0 | 申请日: | 2013-02-28 |
公开(公告)号: | CN103178444A | 公开(公告)日: | 2013-06-26 |
发明(设计)人: | 童小春 | 申请(专利权)人: | 溧阳市宏达电机有限公司 |
主分类号: | H01S5/327 | 分类号: | H01S5/327 |
代理公司: | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人: | 黄明哲 |
地址: | 213300 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光二极管 | ||
1.一种采用镁砷共掺杂p型氧化锌薄膜的激光二极管,该激光二极管的结构为:
n型氧化镍薄膜,其形成在蓝宝石衬底的上表面上;镁砷共掺杂p型氧化锌薄膜,其形成在所述n型氧化镍薄膜的上表面上,以及底电极,其形成在所述n型氧化镍薄膜下表面上,顶电极,其形成在所述镁砷共掺杂p型氧化锌薄膜的上表面上。
2.如权利要求1所述的激光二极管,其特征在于:
其中,所述镁砷共掺杂p型氧化锌薄膜的厚度约为200-400nm,该镁砷共掺杂p型氧化锌薄膜中Mg的摩尔百分含量是8-13%,砷的摩尔百分含量是0.5-1.5%;所述n型氧化镍薄膜的厚度为约300-600nm。
3.如权利要求1或2所述的激光二极管,其特征在于:
其中,在常温下,镁砷共掺杂的p型ZnO晶体薄膜的压电常数d33大于18pC/N,其电阻率大于1010Ω·cm。
4.如权利要求1-3任意之一所述的激光二极管,其特征在于:
可以采用多种金属材料来构成底电极和顶电极的材料,例如金、银或铜,也可以采用金属化合物材料来构成所述底电极和顶电极,例如ITO。
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