[发明专利]热处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及热处理装置。

背景技术

已知有用于对基板进行加热处理的基板加热处理装置（例如参照专利文献1）。在专利文献1中记载的基板加热处理装置具备能够收纳基板的处理腔。在处理腔内配置有热板。热板设置为用于加热基板。在热板的侧方配置有热电转换模块。热电转换模块用于将来自热板的热能转换为电力。该电力供给至电力供给源。来自电力供给源的电力用于基板加热处理装置的各部的驱动。通过上述结构，企图对热板的热能进行有效利用。

专利文献1：日本特开2000-68183号公报（0026段、0032段）

但是，热处理装置为了通过电热加热器来对基板等被加热物进行加热，需要较大的电力。因此，热处理装置通常使用作为由电力公司提供的电源的外部电源，来确保必需的电力。在专利文献1中记载的结构中，由热电转换模块供给的电力被供给至用于驱动基板处理装置的各部的电力供给源，并与来自外部电源的电力没有区别地被使用。这样，专利文献1中记载的结构不是将来自热电转换模块的电力和来自外部电源的电力分开使用的结构。

发明内容

通过鉴于上述情况，本发明的目的在于能够在热处理装置中实现节能化，且能够使供给电力的形态更为多样化。

（1）为了解决上述课题，本发明的某一方面所涉及的热处理装置具备热处理炉、热电转换部件、控制装置和切换部。所述热处理炉设置为用于对被处理物进行热处理。所述热电转换部件用于将来自所述热处理炉的热能转换为电力。所述控制装置设置为用于控制所述热处理炉。所述切换部设置为用于将来自外部电源的电力和来自所述热电转换部件的电力择一供给至所述控制装置。

根据该结构，热电转换部件能够将热处理炉的热能转换为电力。切换部能够将该电力供给至控制装置。由此，能够通过对由热处理炉产生的热能的有效利用，来实现节能化。此外，根据需要，切换部能够将来自外部电源的电力和来自所述热电转换部件的电力择一供给至控制装置。由此，能够使向热处理装置的控制装置供给电力的形态多样化。而且，控制装置所必需的电力与对热处理炉的加热所必需的热能相比非常小。由此，即使是作为发电量相对较小的电源的热电转换部件，也足以能够用作控制装置的电源。

因此，根据本发明，能够在热处理装置中实现节能化，且能够使供给电力的形态更为多样化。

（2）优选为：所述切换部构成为，在所述热处理炉的温度小于预定的阈值时，将来自所述外部电源的电力供给至所述控制装置。所述切换部构成为，在所述热处理炉的温度为所述阈值以上时，将来自所述热电转换部件的电力供给至所述控制装置。

根据此结构，能够实现节能化，且不延误对控制装置的动作所必需的电力的供给。具体地，例如，在处于停止状态的常温的热处理炉的启动开始时，来自热电转换部件的电力较小，不足以使控制装置进行动作。此时，切换部将来自外部电源的电力供给至控制装置。另一方面，例如在热处理炉的温度非常高、达到热处理炉能够对被处理物进行热处理的程度的情况下，来自热电转换部件的电力较大，足以使控制装置进行动作。此时，切换部将来自热电转换部件的电力供给至控制装置。此时，控制装置不需要消耗来自外部电源的电力即可。

（3）优选为：在所述外部电源发生异常时，所述切换部能够将来自所述热电转换部件的电力供给至所述控制装置。

根据此结构，即使在外部电源发生停电等异常的情况下，也能够通过将热电转换部件用作紧急用电源（无停电电源），来对控制装置供给电力。由此，即使在外部电源发生异常时，也能够使控制装置进行必要的动作。即，能够抑制随着外部电源的异常而使控制装置的动作突然切断的情况。由此，能够抑制在控制装置和热处理炉发生异常的情况。此外，即使在由于外部电源的异常等导致热处理炉的加热动作停止的情况下，由于热处理炉的热容量一般较大，因此热处理炉的温度在长时间内得以维持。由此，即使在对被处理物的热处理中外部电源发生异常时，能够利用热电转换部件产生足够的电力的时间也较长。由此，即使在外部电源发生异常时，也能够在长时间内使控制装置继续进行动作。由此，能够进行对控制装置的停止所必需的备份作业等、和对热处理装置的停止所必需的作业。此外，无需使用电池等蓄电装置来作为紧急用电源，或者可以减少蓄电装置的使用量。因此，无需蓄电装置的定期的更换作业，或者蓄电装置的更换量较少即可。由此，能够减少控制装置的维护所花费的劳力和时间。此外，通过对蓄电装置的削减，还能对保护地球环境做出贡献。

（4）优选为：所述热处理装置进一步具备被所述控制装置所控制的辅助设备。所述辅助设备能够利用来自所述热电转换元件的电力进行动作。