[发明专利]一种低温双层隔离式MEMS微波功率传感器有效
| 申请号： | 201310065237.3 | 申请日： | 2013-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN103149423A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 廖小平;周锐 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R21/02 | 分类号： | G01R21/02;G01R3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 低温 双层 隔离 mems 微波 功率 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种低温双层隔离式MEMS微波功率传感器，包括MEMS微波功率传感器（A），其特征在于，在MEMS微波功率传感器（A）外围设有位于内侧的内隔离环（8）和位于外侧的外隔离环（7），在所述内隔离环（8）内侧还设有第一加热电路和第二加热电路。
2.根据权利要求1所述的低温双层隔离式MEMS微波功率传感器，其特征在于，所述内隔离环（8）与外隔离环（7）之间间隔60um距离。
3.根据权利要求1或2所述的低温双层隔离式MEMS微波功率传感器，其特征在于，所述第一加热电路包括第十二热电阻（12）至第十五热电阻（15），第一加热电路与开关十（10）、外接电源（33）构成一个完整回路。
4.根据权利要求3所述的低温双层隔离式MEMS微波功率传感器，其特征在于，所述第二加热电路包括第十六热电阻（16）至第二十三热电阻（23），第二加热电路与开关十一（11）、外接电源（33）构成一个完整回路。
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