[发明专利]一种自动聚焦垂直腔面发射激光器有效
申请号: | 201310066180.9 | 申请日: | 2013-03-01 |
公开(公告)号: | CN103178443A | 公开(公告)日: | 2013-06-26 |
发明(设计)人: | 张星;宁永强;秦莉;刘云;王立军 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | H01S5/183 | 分类号: | H01S5/183 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 田春梅 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自动 聚焦 垂直 发射 激光器 | ||
1.一种自动聚焦垂直腔面发射激光器,其特征在于:该激光器包括下电极(1)、P型DBR层(2)、有源层(3)、N型DBR层(4)、衬底层(5)和上电极(6);N型DBR层(4)生长于衬底层(5)的下端,N型DBR层(4)的下端顺次生长有有源层(3)、P型DBR层(2)和下电极(1);所述上电极(6)生长于衬底层(5)的上端面;下电极(1)、P型DBR层(2)和有源层(3)共同形成P型半导体台面;所述上电极(6)在覆盖激光器出光窗口的部分为同心环形结构或不等间距栅条形结构或交叉栅条形结构。
2.如权利要求1所述的一种自动聚焦垂直腔面发射激光器,其特征在于:与同心环形结构上电极(6)对应的P型半导体台面为圆形结构,与不等间距栅条形结构或交叉栅条形结构上电极(6)对应的P型半导体台面为矩形结构。
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