[发明专利]激光装置

权利要求书

1.一种激光装置，其具备：

使激光振荡的激光振荡器；

将上述激光分割为多个分割激光并且朝向工件反射的多个反射镜；以及

将多个上述分割激光聚光到上述工件上的聚光镜，

该激光装置的特征在于，

多个上述反射镜的至少一个是在能以改变上述激光相对于该反射镜的入射量的方式进退的状态、以及能以改变由该反射镜反射的上述分割激光相对于上述聚光镜的入射角度的方式倾斜运动的状态中的任一个状态下配设的可动反射镜。

2.根据权利要求1所述的激光装置，其特征在于，

各上述反射镜构成为具有与上述激光的波长不同的波长的光能通过，

上述激光装置还具备图像摄影单元，该图像摄影单元通过接受从上述工件导入并通过了各上述反射镜的上述光来对该工件进行摄影。

3.根据权利要求1或2所述的激光装置，其特征在于，

多个上述反射镜的一个是以相对于上述聚光镜的相对位置不会改变的方式配设的固定反射镜。

4.根据权利要求3所述的激光装置，其特征在于，

上述固定反射镜构成为具有红外区域的波长的红外光能通过，

上述激光装置还具备温度测定单元，该温度测定单元通过接受从上述工件导入并通过了上述固定反射镜的上述红外光来测定该工件的温度。

5.根据权利要求4所述的激光装置，其特征在于，

上述固定反射镜构成为具有1.8μm～2.3μm的范围的波长的上述红外光能通过，

上述温度测定单元是接受该红外光并测定上述工件的温度的放射温度计。

6.根据权利要求1～5任一项所述的激光装置，其特征在于，

上述反射镜设有n个，其中，n是3以上的整数，

至少n-1个上述反射镜是上述可动反射镜。