[发明专利]基于银纳米粒子介电泳组装的有序纳米微结构制造方法

权利要求书

1.基于纳米粒子介电泳组装的有序纳米微结构制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

第一步，制造平面平行微电极，选择表面绝缘的刚性材料为基底，在其表面做亲水性的表面处理；然后采用溅射或蒸镀工艺在基底表面制备一层厚度为50-200nm的金，然后刻蚀使其图形化，以形成平面平行微电极；

第二步，制造具有光刻胶导向结构的微电极系统，在制造好的平面平行电极上旋涂厚度为0.5-1.5微米的光刻胶，利用光刻对准工艺实现区域紫外降解，从而在平行微电极之间制作出光刻胶的图形化结构；

第三步，银纳米粒子介电泳组装，把微电极系统浸入银纳米粒子悬浮液中，对平面平行电极施加频率为100KHz—500KHz的交流电信号，从而实现银纳米粒子在微电极系统中的组装；

第四步，有序的纳米微结构形成，把组装后的微电极系统浸入丙酮中，去除胶结构；把去胶后的微电极系统放入碘和碘化钾的水溶液中，腐蚀掉微电极系统，只在基底上保留了图案化的银结构。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述的光刻胶为EPG533。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述的碘和碘化钾的水溶液配比为I₂：KI：H₂O=1g：4g：40ml。