[发明专利]多功能薄膜材料动态力学分析仪及其分析方法

权利要求书

1.多功能薄膜材料动态力学分析仪，其特征在于：该分析仪是由上部腔体和下部腔体构成，所述的上部腔体通过支撑架固定在底座上，所述的上部腔体顶部设有真空转接头，其侧面设有气阀，所述的上部腔体内部中间位置设有试样支架，在所述的上部腔体内部的试样支架旁还设有一根热电偶；

所述的下部腔体固定在丝杆上，并通过丝杆来带动下部腔体作上下运动来改变测量的环境，在所述的下部腔体一侧的上方设有冷却管出口，其下方设有冷却管进口，所述的下部腔体内壁设有螺旋状冷却管，所述的冷却管一端与冷却管出口相连，另一端与冷静却管进口相连。

2.根据权利要求1所述多功能薄膜材料动态力学分析仪，其特征在于：所述的上部腔体和下部腔体相结合后形成真空腔体。

3.根据权利要求1所述多功能薄膜材料动态力学分析仪，其特征在于：所述下部腔体四周设有保温层，所述保温层与下部腔体的外壁之间还设有铠装电阻丝。

4.根据权利要求1所述多功能薄膜材料动态力学分析仪，其特征在于：所述的试样支架呈中空的长方体，其上方开有三个扁平的通孔，下方开两个扁平的通孔，在所述的试样支架上方的扁平通孔内安插有三根金属条，其中，中间的金属条为激发极，两边的金属条为检测极；所述试样支架下方的扁平通孔内分安插有待测试样和参考试样。

5.多功能薄膜材料动态力学分析方法，其特征在于：该方法是通过静电激发的方式，在一定频率范围、温度范围和真空气氛下，采用强迫振动测量模式和自由衰减模式两种方式，驱动待测试样和参考试样或对比试样同时进行机械振动，通过高频载波获取试样的振幅，经过运算获得薄膜的模量和内耗，其方法如下：

静电激发是由计算机发的信号经模数转换和放大后产生的交流激发信号和直流偏压加和而成的振动激发信号，并对待测试样和参考试样同时进行的周期性振动，直流偏压是由手动调节稳压器或是电脑控制程控稳电源产生；

强迫振动测量模式：是由高频信号发生器发出的高频载波加载在待测试样和参考试样上，薄膜试样运动时引起待测试样或参考试样与检测电极之间电容变化，会导致通过检测极的载波的幅度变化，这对应着薄膜振幅的变化，振动信号通过检测极并经过解调后，获得试样振动信号，将试样振动信号与高频信号发生器的信号同时接入锁相放大器的输入信号端和参考信号端，处理获得试样振动的振幅与相位信息后，在计算机中保存结果，参考试样可以是模量已知的某种材料，或者是未涂覆薄膜的基底材料，通过测量标注试样的模量和内耗可用于标定出薄膜的模量和内耗，所述高频载波的频率在0.5~4MHz，幅度为0~20V；

自由衰减模式：该模式是将试样振动信号经过正反馈电路加载到激发极上，使试样在共振频率进行振动，然后程序控制断开驱动信号，使试样自由衰减，通过高频载波加载在待测试样上，薄膜试样运动时引起待测试样与检测电极之间电容变化，导致通过检测电极的高频载波的幅度变化，将高频信号经过解调和隔直后接入计算机的模数转换板卡上，来计算薄膜的模量和内耗，所述数模转换和模数转换的精度为16~24位，转换速率最大为100MB/s。

6.根据权利要求1所述多功能薄膜材料动态力学分析仪，其特征在于：所述上部腔体与下部腔体之间设有密封胶圈。

7.根据权利要求1所述多功能薄膜材料动态力学分析仪，其特征在于：所述的上部腔体采用不锈钢材料制作而成。

8.根据权利要求1所述多功能薄膜材料动态力学分析仪，其特征在于：所述试样支架采用绝缘陶瓷材料制成。