[发明专利]监控装置、监控方法及气相沉积设备

权利要求书

1.一种监控装置，用于监控气相沉积设备中的加热单元，所述加热单元利用电阻丝进行加热，其特征在于，该监控装置包括：

检测单元，用于获得所述加热单元的实时电阻值；

比较单元，用于获得所述实时电阻值与参考电阻值的比较结果；

报警单元，用于根据所述比较结果，判断是否发出报警信号。

2.根据权利要求1所述的监控装置，其特征在于，所述加热单元包括若干个子加热单元，所述若干个子加热单元对设置于所述加热单元上方的被加热单元的若干个受热区域分别对应进行加热；所述检测单元包括若干个子检测单元，每一个所述子检测单元检测其对应的子加热单元的电流值和电压值，根据所述电流值和所述电压值获得该子加热单元的实时电阻值；所述比较单元包括若干个子比较单元，每一个所述子比较单元比较其对应的子加热单元的实时电阻值与该子加热单元对应的参考电阻值并得到电阻差值，比较所述电阻差值与所述参考电阻值的比值得到实时比值，比较所述实时比值与参考比值得到所述比较结果。

3.根据权利要求1所述的监控装置，其特征在于，所述加热单元包括若干个子加热单元，所述若干个子加热单元对设置于所述加热单元上方的被加热单元的若干个受热区域分别对应进行加热；所述检测单元包括若干个子检测单元，每一个所述子检测单元检测其对应的子加热单元的电流值和电压值，根据所述电流值和所述电压值获得该子加热单元的实时电阻值；所述比较单元比较每一个子加热单元的实时电阻值与该子加热单元对应的参考电阻值并得到该子加热单元的电阻差值，比较所述电阻差值与所述参考电阻的比值得到实时比值，比较所述实时比值与参考比值得到所述比较结果。

4.根据权利要求2或3所述的监控装置，其特征在于，所述参考比值为0.1～0.3。

5.根据权利要求4所述的监控装置，其特征在于，当所述实时电阻值大于所述参考电阻值，并且所述实时比值大于或等于所述参考比值时，所述报警单元判断为所述子加热单元为断路并发出断路报警信号；当所述实时电阻值小于所述参考电阻值，并且所述实时比值大于或等于所述参考比值时，所述报警单元判断为所述子加热单元为短路并发出短路报警信号。

6.根据权利要求2或3所述的监控装置，其特征在于，所述若干个子加热单元的加热功率相互独立调节。

7.一种气相沉积设备，包括工艺腔室、被加热单元和加热单元，所述加热单元设置于所述被加热单元下方，在进行气相沉积工艺时，所述加热单元对所述被加热单元进行加热，其特征在于，所述气相沉积设备还包括权利要求1至6任一项所述的监控装置，所述监控装置用于监控所述加热单元。

8.一种气相沉积设备中利用电阻丝进行加热的加热单元的监控方法，其特征在于，包括步骤：

a)检测所述加热单元的电流值和电压值并根据所述电流值和所述电压值获得所述加热单元的实时电阻值；

b)比较所述实时电阻值与参考电阻值并得到电阻差值；

c)比较所述电阻差值与所述参考电阻值的比值得到实时比值；

d)比较所述实时比值与参考比值得到比较结果；

e)根据所述比较结果，判断是否发出报警信号。

9.根据权利要求8所述的监控方法，其特征在于，所述加热单元包括若干个子加热单元，所述若干个子加热单元对设置于所述加热单元上方的被加热单元的若干个受热区域分别对应进行加热；所述检测单元包括若干个子检测单元，每一个所述子检测单元检测其对应的子加热单元的电流值和电压值，根据所述电流值和所述电压值获得该子加热单元的实时电阻值；所述比较单元包括若干个子比较单元，每一个所述子比较单元比较其对应的子加热单元的实时电阻值与该子加热单元对应的参考电阻值并得到电阻差值，比较所述电阻差值与所述参考电阻值的比值得到实时比值，比较所述实时比值与参考比值得到所述比较结果。