[发明专利]用于晶体加工的水基金刚石抛光液

权利要求书

1.用于晶体加工的水基金刚石抛光液的制造方法，其特征在于：

(1)它的组成成分：

水85～98％，金刚石0.1～10％，润湿剂0.2～3％，表面活性剂0.1～5％，黏度调节剂0.01～5％，防锈剂0～1％，润滑剂1～8％，消泡剂0.0005～0.1％，防腐杀菌剂0.02～1％，pH调节剂逐滴加入，不计入总量；

(2)成分中的金刚石包括：用静压触媒法制造的亚毫米级金刚石经破碎、整形、粒度分级和提纯净化后获得的微米级和亚微米级单晶金刚石微粉；用爆轰法(负氧平衡法)制造的单晶纳米金刚石；以及用爆炸法制造的多晶纳米金刚石；

(3)制造工艺中使用：

高剪切乳化机，该设备的搅拌工作头直径不低于56mm，最高转速不低于15000rpm。它可使金刚石颗粒之间的软团聚充分分散，使多种试剂混合均匀，并使金刚石颗粒均匀地分散稳定地悬浮在液体中，转速控制在10000～15000rpm，处理时间10～60min。

2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于：使用黏度调节剂，制成不同黏度的抛光液以满足诸多用户的不同需求，所述的黏度调节剂是指下列试剂中的一种或多种混合：硅酸镁铝、膨润土、凹凸棒土、蒙脱土、黄原胶、卡拉胶、阿拉伯胶、羧甲基纤维素钠、聚丙烯酸钠。

3.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述的润湿剂是指下列试剂中的一种或多种混合：去离子水、乙二醇、聚乙二醇、丙三醇。

4.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述的表面活性剂是指下列试剂中的一种或多种混合：聚乙二醇、六偏磷酸钠、十二烷基苯磺酸钠、丙三醇、1-缩二乙二醇、三乙醇胺。

5.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述的pH调节剂是指下列试剂中的一种或多种混合：氢氧化钾、氢氧化钠、碳酸钠、三乙醇胺、六偏磷酸钠、氨水、磷酸、硝酸、氢氟酸。

6.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述的防锈剂是指下列试剂中的一种或多种混合：三乙醇胺、乙醇胺硼酸盐、重铬酸钾、苯丙三氮唑、碳酸钠、亚硝酸钠。

7.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述的润滑剂是指下列试剂中的一种或多种混合：乙二醇、聚乙二醇、脂肪皂酸、丙三醇。

8.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述的消泡剂是指下列试剂中的一种或多种混合：乙醇、辛醇、聚氧丙烯氧化乙烯甘油醚、高碳醇脂肪酸酯复合物DSA-5、油酸、乳化二甲基硅油。

9.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述的防腐杀菌剂是指下列试剂中的一种或多种混合：脱氢醋酸钠、过氧化氢、2-苯基苯酚钠盐、对羟基苯甲酸乙酯钠、戊二醛、山梨酸钾、苯甲酸钠、亚硝酸钠、次氯酸钙。