[发明专利]传感器模块、力检测装置以及机器人

权利要求书

1.一种传感器模块，其特征在于，具备：

传感器元件，其层叠压电体与电极而形成；

第一部件，其具有供所述传感器元件配置的第一凹部；

第二部件，其与所述第一部件接合，且密封所述第一部件的所述第一凹部；

第一板，其与所述第二部件接触；

第二板，其与所述第一部件接触；以及

紧固部，其能够紧固所述第一板以及所述第二板，

从所述第一部件与所述传感器元件的接触面至所述第一部件与所述第二部件接合的面的尺寸形成为比所述传感器元件的在所述压电体与所述电极层叠的方向上的尺寸大，

在所述第一板，设有朝向所述第二部件突出、且与所述第二部件接触的第一凸部，所述传感器元件与所述第二部件接触。

2.根据权利要求1所述的传感器模块，其特征在于，

在所述第二板，设有朝向所述第一部件突出、且与所述第一部件接触的第二凸部。

3.根据权利要求2所述的传感器模块，其特征在于，

在所述第一部件的底面形成有与所述第二凸部嵌合的第二凹部。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的传感器模块，其特征在于，

在所述第二部件的厚度方向上的俯视图中，在包围所述第二部件的与所述第一凸部接触的部分的周边部具有薄壁部，该薄壁部的厚度比所述与第一凸部接触的部分的厚度薄。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的传感器模块，其特征在于，

在将层叠有多个所述压电体的所述传感器元件的层叠方向设为Z轴方向的情况下，且在将与该Z轴方向正交并且相互正交的方向分别设为X轴方向、Y轴方向的情况下，至少具备检测所述X轴方向的力的第一传感器元件、检测所述Y轴方向的力的第二传感器元件以及检测所述Z轴方向的力的第三传感器元件。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的传感器模块，其特征在于，

所述紧固部能够进行紧固力的调整。

7.一种力检测装置，其特征在于，具备：

传感器元件，其层叠压电体与电极而形成；

第一部件，其具有供所述传感器元件配置的第一凹部；

第二部件，其与所述第一部件接合，且密封所述第一部件的所述第一凹部；

第一板，其与所述第二部件接触；

第二板，其与所述第一部件接触；

紧固部，其能够紧固所述第一板以及所述第二板；以及

电子电路，其与所述传感器元件电连接，

从所述第一部件与所述传感器元件的接触面至所述第一部件与所述第二部件接合的面的尺寸形成为比所述传感器元件的在所述压电体与所述电极层叠的方向上的尺寸大，

在所述第一板，设有朝向所述第二部件突出、且与所述第二部件接触的第一凸部，所述传感器元件与所述第二部件接触。

8.一种机器人，其特征在于，具备：

主体部；

臂部，其与所述主体部连接；以及

手部，其与所述臂部连接，

在所述臂部与所述手部的连接部具有传感器模块，

所述传感器模块具备：

传感器元件，其层叠压电体与电极而形成；

第一部件，其具有供所述传感器元件配置的第一凹部；

第二部件，其与所述第一部件接合，且密封所述第一部件的所述第一凹部；

第一板，其与所述第二部件接触；

第二板，其与所述第一部件接触；以及

紧固部，其能够紧固所述第一板以及所述第二板，

从所述第一部件与所述传感器元件的接触面至所述第一部件与所述第二部件接合的面的尺寸形成为比所述传感器元件的在所述压电体与所述电极层叠的方向上的尺寸大，

在所述第一板，设有朝向所述第二部件突出、且与所述第二部件接触的第一凸部，所述传感器元件与所述第二部件接触。

9.一种传感器模块，其特征在于，具备：

压电体，其具有电极；

第一部件，其具有第一凹部，且在所述第一凹部配置所述压电体；

第二部件，其与所述压电体接触，且具有与所述第一部件接合的接合部；

第一板，其经由所述第二部件而接触所述第二部件和所述压电体所接触的面相反侧的面；

第二板，其经由所述第一部件而接触所述第一部件和所述压电体所接触的面相反侧的面；以及

紧固部，其紧固所述第一板以及所述第二板，

从所述第一部件与所述压电体接触的面至所述接合部的尺寸形成为比所述压电体的在与所述压电体的主面垂直的方向上的尺寸大，

在所述第一板，设有朝向所述第二部件突出的第一凸部。