[发明专利]传感器元件、传感器器件以及电子设备

权利要求书

1.一种传感器元件，其特征在于，该传感器元件具有：

基部；

从所述基部延伸的振动臂；以及

检测部，其设置于所述振动臂和所述基部，检测所述振动臂的屈曲振动，

所述检测部具有第1电极层、第2电极层、和设置于所述第1电极层与所述第2电极层之间的压电体层，

所述检测部以沿着所述振动臂和所述基部的侧面在包含与所述振动臂的延伸方向垂直的方向分量的方向上延伸的方式进行屈曲或弯曲。

2.根据权利要求1所述的传感器元件，其中，

所述检测部的所述基部侧的端部相比使所述振动臂的侧面沿着所述振动臂的延伸方向延长后的假想面，位于所述振动臂的外侧。

3.根据权利要求2所述的传感器元件，其中，

对于所述检测部，在设所述振动臂的宽度为Ws、所述假想面与所述检测部的所述基部侧的端部之间的距离为Ls时，Ls/Ws为1.2以下。

4.根据权利要求1所述的传感器元件，其中，

所述检测部被设置成与所述振动臂以及所述基部的侧面之间的距离恒定。

5.根据权利要求1所述的传感器元件，其中，该传感器元件具备：

检测用振动臂，其构成所述振动臂；

驱动用振动臂，其从所述基部延伸；以及

驱动部，其设置于所述驱动用振动臂，使所述驱动用振动臂进行屈曲振动。

6.根据权利要求5所述的传感器元件，其中，

所述驱动部具有在所述驱动用振动臂的延伸方向上进行伸缩的压电体元件，

所述驱动部设置于所述驱动用振动臂和所述基部，以沿着所述驱动用振动臂和所述基部的侧面在包含与所述驱动用振动臂的延伸方向垂直的方向分量的方向上延伸的方式进行屈曲或弯曲。

7.根据权利要求5所述的传感器元件，其中，

所述基部具有主体部、和从所述主体部相互朝相反侧延伸的一对连结臂，

所述驱动用振动臂在与各所述连结臂的延伸方向交叉的方向上从各所述连结臂延伸，

所述检测用振动臂在与各所述连结臂的延伸方向交叉的方向上从所述主体部延伸。

8.一种传感器器件，其特征在于，该传感器器件具有权利要求1～7中的任意一项所述的传感器元件。

9.一种电子设备，其特征在于，该电子设备具有权利要求1～7中的任意一项所述的传感器元件。