[发明专利]低温泵系统、低温泵系统的运行方法以及压缩机单元有效
申请号: | 201310073415.7 | 申请日: | 2013-03-07 |
公开(公告)号: | CN103306936A | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
发明(设计)人: | 松井孝聪 | 申请(专利权)人: | 住友重机械工业株式会社 |
主分类号: | F04B37/08 | 分类号: | F04B37/08;F04B49/00 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 温旭;郝传鑫 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 低温泵 系统 运行 方法 以及 压缩机 单元 | ||
1.一种低温泵系统,其特征在于,具备:
低温泵,用于执行准备运行和超低温的真空排气运行,其中所述准备运行包括从室温向超低温的降温;
所述低温泵用的工作气体的压缩机;
气体管路,连接所述低温泵和所述压缩机;
气体容量调整部,构成为与所述准备运行相比增加所述真空排气运行时的所述气体管路的工作气体量;及
控制装置,用于控制所述压缩机,以便对所述气体管路提供压力控制。
2.如权利要求1所述的低温泵系统,其特征在于,
所述准备运行包括所述低温泵的再生,
所述气体容量调整部构成为,与所述真空排气运行相比减少所述准备运行时的所述气体管路的工作气体量。
3.如权利要求1或2所述的低温泵系统,其特征在于,
所述气体容量调整部构成为,回收从所述气体管路排出的工作气体,并向所述气体管路补充工作气体。
4.如权利要求1至3中任一项所述的低温泵系统,其特征在于,
所述控制装置控制所述压缩机的转速,以使所述压缩机的高压与低压的差压与目标值一致。
5.如权利要求1至4中任一项所述的低温泵系统,其特征在于,
所述气体容量调整部调整所述工作气体量,以使所述压缩机的高压停留在已设定的上限以下。
6.一种低温泵系统的运行方法,该低温泵系统具备低温泵和用于该低温泵的压缩机,所述低温泵系统的运行方法的特征在于,包括:
为了开始所述低温泵的真空排气运行,增加在所述低温泵和所述压缩机中循环的工作气体量,
为了控制在所述低温泵和所述压缩机中循环的工作气体的压力而控制所述压缩机。
7.一种压缩机单元,其是超低温装置用的工作气体的压缩机单元,其特征在于,具备:
压缩机;
气体容量调整部,为了调整在所述超低温装置和所述压缩机中循环的工作气体量而设置;及
控制部,控制所述压缩机,以便提供工作气体的压力控制,
所述气体容量调整部将所述工作气体量从初始气体量调整至比该初始气体量进一步增加的通常气体量,其中,所述工作气体量用于所述超低温装置的通常运行,所述初始气体量用于所述超低温装置的准备运行,且该准备运行包括从室温向超低温的冷却。
8.一种低温泵系统,其特征在于,具备:
低温泵;
压缩机;
气体管路,连接所述低温泵和所述压缩机;及
气体容量调整部,构成为与所述低温泵的真空排气运行时相比减少所述低温泵的再生时的所述气体管路的工作气体量。
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