[发明专利]微小器件装配系统及其装配方法

权利要求书

1.一种微小器件装配系统，用以将薄壁件和待加工器件胶合，其特征在于，包括：

装配平台，用以承载待加工器件；

二级吸附系统，包括一级吸附头和二级吸附头，所述的一级吸附头和二级吸附头可拆卸连接，所述的二级吸附头上定义有挤压面，所述二级吸附头的下端设有用以吸附所述薄壁件的吸孔；

第一调节装置，连接于所述二级吸附系统以控制其运动；

显微系统，位于所述装配平台的上方；

压紧系统，包括第二调节装置和压片，所述的第二调节装置连接于所述压片并控制其运动，所述的压片具有可作用于所述挤压面上的压紧面。

2.根据权利要求1所述的微小器件装配系统，其特征在于，所述的装配平台包括第三调节装置，该第三调节装置用以控制所述的待加工器件于水平面内运动。

3.根据权利要求1所述的微小器件装配系统，其特征在于，所述的一级吸附头下端设有凹槽，所述的二级吸附头配合所述凹槽设有凸起，所述的一级吸附头和二级吸附头之间通过气体吸附方式连接。

4.根据权利要求1所述的微小器件装配系统，其特征在于，所述的二级吸附系统还包括力传感器，该力传感器用以检测所述的薄壁件和待加工器件之间的压力。

5.根据权利要求1所述的微小器件装配系统，其特征在于，所述的二级吸附头包括主体部以及自所述主体部的侧边凸伸的凸台，所述的挤压面为所述凸台的顶面，所述的吸孔位于所述凸台的底端。

6.权1至权5任一所述的微小器件装配系统的装配方法，其特征在于，包括步骤：

a）一级吸附头和二级吸附头连接组成一个吸附手；

b）二级吸附头的吸孔与气路连通形成负压拾取薄壁件，同时显微系统进行识别和检测，保证拾取的精度；

c）第三调节装置控制顶面涂有胶的待加工器件运动至薄壁件的正下方，通过显微系统获得的图像判断薄壁件与待加工器件之间的位置偏差，并将该偏差反馈至第一调节装置进行调整；

d）二级吸附系统下移，使得薄壁件与待加工器件贴合，力传感器检测到设定的压力时，二级吸附系统停止下移；

e）第二调节装置控制压片运动，使得压片的压紧面作用于所述二级吸附头的挤压面上；

f）一级吸附头向上运动，与二级吸附头脱离；

g）对薄壁件与待加工器件之间胶进行烧结。