[发明专利]压力传感器有效
| 申请号： | 201310073745.6 | 申请日： | 2013-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN103308246A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 内山武;新荻正隆 | 申请（专利权）人： | 精工电子有限公司 |
| 主分类号： | G01L13/06 | 分类号： | G01L13/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 何欣亭;李浩 |
| 地址： | 日本千叶*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
1. 一种压力传感器，其特征在于，包括：
第一压力变动传感器和第二压力变动传感器；以及
检测部，检测所述第一压力变动传感器和所述第二压力变动传感器的输出的差值，
所述第一压力变动传感器和所述第二压力变动传感器分别具有：
腔，由开口构成；
悬臂，形成为在从基端侧朝向前端侧的方向延伸的板状，具有在所述腔的开口端以悬臂状态被支持的基端部和由自由端构成的前端部，根据所述腔的内部与外部的压力差而弯曲变形；
间隙，设在所述悬臂的所述前端部与所述腔的开口端之间，将所述腔的内部与外部连通；以及
变形检测部，检测所述悬臂的弯曲变形并输出检测结果的信号，
所述第一压力变动传感器和所述第二压力变动传感器具有至少根据所述腔的容量或者所述间隙的距离而互不相同的频率特性。
2. 如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，
所述频率特性是所述第一压力变动传感器和所述第二压力变动传感器的灵敏度为既定值以上的下限频率的特性。
3. 如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，
所述第一压力变动传感器和所述第二压力变动传感器配置为，在所述悬臂的延伸方向使一个所述悬臂的所述前端部与另一个所述悬臂的所述基端部对置而相邻。
4. 如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，
所述第一压力变动传感器和所述第二压力变动传感器配置为，在所述悬臂的延伸方向使相互的所述悬臂的所述前端部彼此对置而相邻。
5. 如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，
所述变形检测部在由半导体材料形成的所述悬臂的所述基端部，包括通过杂质的掺杂而形成的压电电阻。
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