[发明专利]压力传感器

权利要求书

1. 一种压力传感器，其特征在于，包括：

第一压力变动传感器和第二压力变动传感器；以及

检测部，检测所述第一压力变动传感器和所述第二压力变动传感器的输出的差值，

所述第一压力变动传感器和所述第二压力变动传感器分别具有：

腔，由开口构成；

悬臂，形成为在从基端侧朝向前端侧的方向延伸的板状，具有在所述腔的开口端以悬臂状态被支持的基端部和由自由端构成的前端部，根据所述腔的内部与外部的压力差而弯曲变形；

间隙，设在所述悬臂的所述前端部与所述腔的开口端之间，将所述腔的内部与外部连通；以及

变形检测部，检测所述悬臂的弯曲变形并输出检测结果的信号，

所述第一压力变动传感器和所述第二压力变动传感器，作为至少根据所述腔的容量或者所述间隙的距离而在实效上相同的频率特性，具有所述第一压力变动传感器和所述第二压力变动传感器的灵敏度为既定值以上的下限频率，

所述第一压力变动传感器的所述间隙将2个压力变动传感器的所述腔的外部与所述第一压力变动传感器的所述腔的内部连通，

所述第二压力变动传感器的所述间隙将所述第一压力变动传感器的所述腔的内部与所述第二压力变动传感器的所述腔的内部连通。

2. 如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

所述第一压力变动传感器的所述悬臂配置在形成所述第一压力变动传感器的所述腔的筒状部的延伸方向的一个开口端，

所述第二压力变动传感器的所述悬臂配置在所述筒状部的延伸方向的另一个开口端与形成所述第二压力变动传感器的所述腔的有底筒状部的开口端之间。

3. 如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

所述第一压力变动传感器的所述悬臂配置在形成所述第一压力变动传感器的所述腔的第一有底筒状部的第一开口部的开口端，

所述第二压力变动传感器的所述悬臂配置在所述第一有底筒状部的第二开口部的开口端与形成所述第二压力变动传感器的所述腔的第二有底筒状部的开口端之间。

4. 如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

所述变形检测部在由半导体材料形成的所述悬臂的所述基端部，包括通过杂质的掺杂而形成的压电电阻。