[发明专利]一种侧装光纤耦合透射电镜数字成像方法及其装置

权利要求书

1.一种侧装光纤耦合透射电镜数字成像装置，包括透射电镜，所述透射电镜的镜筒具有两个35mm相机接口，其特征在于：其中任一个35mm相机接口连接有真空密封外壳，所述真空密封外壳内设置有数码成像器件，所述数码成像器件连接有将样品的透射电子图像或衍射花样传输到镜筒外的光纤电子光学转换器，所述光纤电子光学转换器伸入镜筒内。

2.根据权利要求1所述的侧装光纤耦合透射电镜数字成像装置，其特征在于：所述光纤电子光学转换器包括由光纤棒制作而成的转向光纤，所述转向光纤的光学输入面设有电子荧光粉层，所述电子荧光粉层表面设有与镜筒壁导通的导电膜层。

3.根据权利要求2所述的侧装光纤耦合透射电镜数字成像装置，其特征在于：所述转向光纤的光学输入端为圆形大端，所述转向光纤的光学输出端为矩形小端，所述转向光纤的光学输入面和光学输出面互相垂直。

4.根据权利要求3所述的侧装光纤耦合透射电镜数字成像装置，其特征在于：所述转向光纤的光学输入面的中垂线与光学输出面之间的距离为60~160mm。

5.根据权利要求2、3或4所述的侧装光纤耦合透射电镜数字成像装置，其特征在于：所述转向光纤的外侧设有便于其安装的铝质适形支架，所述电子荧光粉层上安装有与铝质适形支架固定连接的环形铝框。

6.根据权利要求1所述的侧装光纤耦合透射电镜数字成像装置，其特征在于：所述数码成像器件安装在真空密封外壳内的一个滑动支架上，所述数码成像器件通过插座与外界控制器相连接，所述插座安装于真空密封外壳上。

7.一种侧装光纤耦合透射电镜数字成像方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）制作光纤电子光学转换器；（2）将光纤电子光学转换器与数码成像器件连接成一体；（3）将连接成一体的光纤电子光学转换器和数码成像器件安装在真空密封外壳内；（4）将真空密封外壳与透射电镜镜筒的一个35mm相机接口相连接，使得光纤电子光学转换器伸入镜筒内以将样品的透射电子图像或衍射花样传输到镜筒外。

8.根据权利要求7所述的侧装光纤耦合透射电镜数字成像方法，其特征在于：步骤（1）中的光纤电子光学转换器的制作方法按以下步骤进行：（1.1）将一根光纤棒拉制成两端直径大小不等，然后弯曲成两端面互相垂直，并将小端的端面切削成矩形，此即转向光纤；（1.2）在转向光纤的大端面上制作一层电子荧光粉层；（1.3）根据转向光纤的外形加工一铝质适形支架以方便转向光纤的安装，在电子荧光粉层上面安放一环形铝框并与铝质适形支架固定连接；（1.4）用直流蒸镀方法在电子荧光粉层表面镀一层导电膜层。

9.根据权利要求7所述的侧装光纤耦合透射电镜数字成像方法，其特征在于：步骤（2）中的光纤电子光学转换器与数码成像器件的连接方法按以下步骤进行：（2.1）选用数码相机，用机械方法揭去数码相机CCD表面的保护玻璃；（2.2）把CCD放入盛有去离子水的培养皿中，用超声清洗器清洗两次；（2.3）用光学胶把光纤电子光学转换器的光学输出面与CCD粘结起来。

10.根据权利要求7所述的侧装光纤耦合透射电镜数字成像方法，其特征在于：步骤（3）是将连接成一体的数码成像器件和光纤电子光学转换器安装在真空密封外壳内的一个滑动支架上；所述数码成像器件通过插座与外界控制器相连接，所述插座安装于真空密封外壳上。