[发明专利]半导体装置有效
申请号: | 201310074222.3 | 申请日: | 2013-03-08 |
公开(公告)号: | CN103311212B | 公开(公告)日: | 2017-06-20 |
发明(设计)人: | 秦志康;斋藤隆幸;堀部裕史 | 申请(专利权)人: | 瑞萨电子株式会社 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人: | 谢丽娜,关兆辉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
1.一种半导体装置,其特征在于,具有:
(a)半导体芯片,具有配置第1焊盘和与上述第1焊盘相邻的第2焊盘的表面;
(b)布线部件,具备搭载上述半导体芯片的上表面、与上述半导体芯片的上述第1焊盘电连接的第1外部端子及与上述半导体芯片的上述第2焊盘电连接的第2外部端子;
(c)第1金属线,使上述半导体芯片的上述第1焊盘与上述布线部件的上述第1外部端子电连接;
(d)第2金属线,使上述半导体芯片的上述第2焊盘与上述布线部件的上述第2外部端子电连接;以及
(e)密封体,密封上述半导体芯片、上述布线部件的一部分、上述第1金属线及上述第2金属线,
上述第1金属线经由第1金属焊球与上述第1焊盘电连接,
俯视时,在由上述第1金属焊球和上述第2焊盘夹着的上述第1焊盘的表面的一部分形成第1槽,
在上述第1槽内填充上述密封体的一部分,上述密封体由树脂构成,
俯视时,在上述第1槽和上述第2焊盘之间配置有绝缘膜,上述绝缘膜为氮化硅膜或氧化硅膜。
2.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,
上述第2金属线经由第2金属焊球与上述第2焊盘电连接,
俯视时,在由上述第2金属焊球和上述第1焊盘夹着的上述第2焊盘的表面的一部分形成第2槽。
3.根据权利要求2所述的半导体装置,其特征在于,
俯视时,上述第1金属焊球配置为比上述第2金属焊球离上述半导体芯片的外缘部近。
4.根据权利要求3所述的半导体装置,其特征在于,
俯视时,上述第2焊盘表面的探痕比上述第1焊盘表面的探痕离上述半导体芯片的外缘部近。
5.根据权利要求4所述的半导体装置,其特征在于,
俯视时,未在由上述第1焊盘表面的探痕和上述第2焊盘夹着的上述第1焊盘的表面形成上述第1槽。
6.根据权利要求3所述的半导体装置,其特征在于,
俯视时,上述半导体芯片的上述第1焊盘配置为比上述第2焊盘离上述半导体芯片的外缘部近,并且上述第1焊盘的中心与上述第2焊盘的中心错位。
7.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,
上述绝缘膜覆盖由上述第1焊盘的端部和上述第1槽夹着的上述第1焊盘的表面。
8.根据权利要求7所述的半导体装置,其特征在于,
上述绝缘膜覆盖上述第1焊盘的外缘部。
9.根据权利要求8所述的半导体装置,其特征在于,
上述第1焊盘为矩形形状,
上述第1焊盘具有离上述第2焊盘最近的第1边和与上述第1边交叉的第2边。
10.根据权利要求9所述的半导体装置,其特征在于,
上述第1槽沿上述第1边形成,
覆盖沿上述第1边的上述第1焊盘的上述外缘部的上述绝缘膜的覆盖宽度与覆盖沿上述第2边的上述第1焊盘的上述外缘部的上述绝缘膜的覆盖宽度相等。
11.根据权利要求9所述的半导体装置,其特征在于,
上述第1槽沿上述第1边形成,
覆盖沿上述第2边的上述第1焊盘的上述外缘部的上述绝缘膜的覆盖宽度大于覆盖沿上述第1边的上述第1焊盘的上述外缘部的上述绝缘膜的覆盖宽度。
12.根据权利要求11所述的半导体装置,其特征在于,
覆盖沿上述第2边的上述第1焊盘的上述外缘部的上述绝缘膜的覆盖宽度比覆盖沿上述第1边的上述第1焊盘的上述外缘部的上述绝缘膜的覆盖宽度大上述第1槽的宽度的量。
13.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,
上述半导体芯片具有与上述第1焊盘相邻的第3焊盘,
俯视时,在由上述第1金属焊球和上述第3焊盘夹着的上述第1焊盘的表面的一部分也形成上述第1槽。
14.根据权利要求13所述的半导体装置,其特征在于,
上述第1槽以包围上述第1金属焊球的方式形成于上述第1焊盘的表面。
15.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,
在上述第1槽内配置有绝缘膜的一部分。
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