[发明专利]模套有效
申请号: | 201310074969.9 | 申请日: | 2013-03-11 |
公开(公告)号: | CN104051280B | 公开(公告)日: | 2018-06-08 |
发明(设计)人: | 白志刚;姚晋钟 | 申请(专利权)人: | 恩智浦美国有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 冯玉清 |
地址: | 美国得*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 第二模 凹陷 第一模 引线框 模套 半导体管芯 闭合位置 开放空腔 引线弯曲 插置 两排 封装 配合 | ||
一种用于封装半导体管芯的模套包括:有齿的第一和第二模夹,每个都具有齿、位于齿之间的凹陷、以及位于其中央的开放空腔。该第二模夹面向该第一模夹布置,该第一模夹中的齿与该第二模夹中的对应的凹陷配合,该第二模夹中的齿与该第一模夹中的对应的凹陷配合。在打开位置,引线框能被插置到该第一和第二模夹之一中。在闭合位置,该第一和第二模夹的齿和凹陷将该引线框的引线弯曲成间隔开且平的两排。
技术领域
本发明涉及半导体器件组件,更特别地,涉及一种用于封装集成电路管芯的模套。
背景技术
集成电路(IC)管芯(die)是一种形成在半导体晶片(诸如,硅晶片)上的小型器件。典型地,将这种管芯从晶片切下,并利用引线框将其封装。引线框是一种金属框架,通常由铜或镍合金形成,其支撑IC并提供用于封装的芯片的外部电连接。引线框通常包括标志(flag)或管芯焊盘(die pad)以及引线指。管芯上的接合焊盘(bond pad)经由导线接合电连接到引线框的引线。利用保护性材料包封管芯和接合线以形成封装。引线或者从所述包封向外凸出,或者至少与所述包封齐平,因而它们可以用作端子,允许IC电连接到其它器件或印刷电路板(PCB)。
参考图1,示出了常规半导体器件10的放大横截面图。器件10包括半导体管芯12,其附接到管芯焊盘14并电偶接到引线指16。管芯12、管芯焊盘14、和部分引线指16被模化合物(mold compound)18覆盖,所述模化合物18保护管芯12和到引线指16的电连接不受损害。引线指16从模化合物18凸出,这允许管芯12的外部电连接。
引线的数目受封装的尺寸以及引线节距的限制。具有许多引线(高I/O计数)的封装生产起来比具有较少引线和更大节距的封装更加昂贵。然而,尽管持续需要具有更多引线的更小封装,但是降低引线之间的间隔需要更加复杂的且更加昂贵的测试套接件(testsocket),增加了开路和短路拒绝的可能性,以及未对准的引线,所有这些增加了成本。因此,能够在同样的或更小尺寸的封装中使半导体器件装配有更多的I/O同时仍维持或降低封装成本将是有利的。
发明内容
为了提供允许更精细节距的用于半导体器件引线框,在一个实施例中,提供了具有如下管芯焊盘的引线框,所述管芯焊盘具有用于接收集成电路管芯的第一主表面。连接条(connection bar)环绕所述管芯焊盘。第一和第二多个引线指从所述连接条向所述管芯焊盘凸出,并具有接近于所述管芯焊盘但与所述管芯焊盘间隔开的近端以及连接到所述连接条的远端。所述第一多个引线指的近端处于第一平面中,而所述第二多个引线指的近端处于与所述第一平面平行并且与所述第一平面间隔开的第二平面中。由刚性或半刚性材料形成的隔离框架与所述管芯焊盘间隔开并环绕所述管芯焊盘,并且被设置在所述第一和第二多个引线指的近端之间,并使所述近端彼此隔离。在一个实施例中,所述隔离框架包括槽,所述引线指的近端坐落于所述槽内。
本发明进一步提供一种封装半导体管芯的方法,包括如下步骤:
提供导电金属片,并在所述导电片中形成管芯焊盘;
在所述导电片中形成多个引线指,其中所述多个引线指从环绕所述管芯焊盘的连接条向所述管芯焊盘延伸,其中所述多个引线指具有连接到所述连接条的远端和接近所述管芯焊盘的近端;
将所述多个引线指分成第一和第二组引线指,其中所述第一组引线指的近端处于第一平面中,而所述第二组引线指的近端处于第二平面中,所述第二平面与所述第一平面平行并间隔开;
在所述第一和第二组引线指之间的空间中安装隔离框架,其中所述隔离框架环绕所述管芯焊盘且与所述管芯焊盘间隔开,并且使所述第一和第二组引线指的近端彼此隔离;
将半导体管芯附接到所述管芯焊盘并使所述管芯上的接触焊盘与所述多个引线指中的相应的引线指的近端电耦接;
利用模化合物至少包封所述管芯、所述管芯焊盘和所述多个引线指的近端;以及
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造