[发明专利]由氮等离子体处理的ITO膜及使用该ITO膜的有机电致发光设备

权利要求书

1.一种制备包含氧化铟锡的用于有机电致发光设备的阳极的方法，该方法包括以下步骤：使用氮等离子体处理氧化铟锡膜的表面，从而使该氧化铟锡表面的逸出功降低。

2.根据权利要求1所述的制备包含氧化铟锡的用于有机电致发光设备的阳极的方法，其中，所述氮等离子体使用的放电气体包含氮气；氨气；氮气和氨气的混合气体；或者氮气和氢气的混合气体。

3.一种有机电致发光设备，其包括衬底、阳极、发射层和阴极，其中，所述阳极为通过权利要求1限定的方法获得的包含氧化铟锡的用于有机电致发光设备的阳极。

4.根据权利要求3所述的有机电致发光设备，其中，所述有机电致发光设备进一步包括空穴注入层，所述空穴注入层包括六氮杂苯并菲六腈。

5.根据权利要求3所述的有机电致发光设备，其中，所述有机电致发光设备在阳极上进一步包括空穴隧道层，所述空穴隧道层包括由式1e表示的化合物：

[式1e]