[发明专利]基于异质结光栅的偏振滤波器及制备方法

权利要求书

1.一种基于异质结光栅的偏振滤波器，其特征在于，在基底上的一维激光干涉图案由相邻的两种不同周期的金属激光干涉图案连接组成，两种激光干涉图案的条纹方向一致，两种不同周期的激光干涉图案的周期之比Λ₂/Λ₁范围为0.6-1.5，入射光所在的激光干涉图案的周期Λ₁范围为200nm-2000nm。 

2.按照权利要求1的一种基于异质结光栅的偏振滤波器，其特征在于，激光干涉图案的薄膜厚度优选为50-500nm。 

3.按照权利要求1的一种基于异质结光栅的偏振滤波器，其特征在于，金属优选金、银或铂。 

4.权利要求1所述的一种基于异质结光栅的偏振滤波器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 

1)以500-4000rpm的转速，将记录介质溶液旋涂在基底上，获得厚度均匀的记录介质薄膜，薄膜的厚度为50-500nm； 

2)将两种不同周期的激光干涉图案分别与连续记录介质薄膜的两个相邻区域作用，并经过显影、定影处理，形成相邻的两种不同周期的金属激光干涉图案，即记录介质一维异质结纳米光栅结构样品； 

3)将直径为2-10nm的金属纳米颗粒溶解于有机溶剂中，制成40-100mg/ml的金属纳米颗粒溶胶； 

4)将步骤3)中制备的金属纳米颗粒溶胶，以1500-4000rpm的转速，旋涂在步骤2)中制备的一维异质结纳米光栅结构上； 

5)将步骤4)中制备的样品在200-300℃的加热板上或200-500℃电炉中加热20-90s，得到基于异质结光栅的偏振滤波器。 

5.按照权利要求4的方法，其特征在于，步骤1）的转速为2000rpm。 

6.按照权利要求4的方法，其特征在于，记录介质为光刻胶。 

7.按照权利要求4的方法，其特征在于，基底选自玻璃、ITO玻璃、FTO玻璃、石英片或者硅片。 

8.按照权利要求4的方法，其特征在于，干涉光刻所用激光波长小于等于500nm 。

9.按照权利要求4的方法，其特征在于，所述的有机溶剂为二甲苯、甲苯、氯苯、二氯苯、苯、三氯甲烷、环己烷、戊烷、己烷或辛烷中的一种。