[发明专利]银钯合金单晶键合丝及其制造方法有效
申请号: | 201310081432.5 | 申请日: | 2013-03-14 |
公开(公告)号: | CN103199073A | 公开(公告)日: | 2013-07-10 |
发明(设计)人: | 徐云管;彭庶瑶;梁建华 | 申请(专利权)人: | 江西蓝微电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;H01L21/48;C22C5/08 |
代理公司: | 南昌洪达专利事务所 36111 | 代理人: | 刘凌峰 |
地址: | 343100 江西省吉安*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 合金 单晶键合丝 及其 制造 方法 | ||
1.一种银钯合金单晶键合丝,其特征是组成该键合丝的材料由下列重量百分比的原材料组成:钯(Pd)占0.003%—0.008%、铜(Cu)占0.002%—0.004%、钙(Ca)占0.0001%—0.0003%、铍(Be)占0.0006%—0.0009%,其余为银,之和等于100%; 要求银的纯度大于99.9999%、铜的纯度大于99.9995%,钯的纯度大于99.999%,钙的纯度99.0%—99.5%,铍的纯度大于99.999%。
2.一种权利要求1所述的银钯合金单晶键合丝的制造方法,其特征是银钯合金单晶键合丝的制作工艺步骤和方法如下:
①提取高纯银:以国家标准GB/T 4135中1号银(IC-Ag99.99)为基材,提取纯度大于99.9999%的高纯银,经清洗、烘干备用;
②制备成银合金铸锭:提取纯度大于99.9999%的高纯银,然后加入钯、铜、钙、铍,成分含量按照重量百分比分别为钯占0.003%-0.008%、铜占0.002%-0.004%、钙占0.0001%-0.0003%、铍占0.0006%-0.0009%,其余为银,这些金属经机械混合后放入高纯石墨坩埚中,在惰性气体保护条件下使用感应电炉使其熔化,进而制备成银合金铸锭;
③连铸成铸态银钯合金单晶母线,将制备好的银合金铸锭加入有氮气保护的水平连铸金属单晶连铸室,应用中频感应加热、熔化、精炼和除气后,将熔液注入储液池保温,完成对银钯合金熔液的水平单晶连铸,得到ф3mm左右、纵向和横向晶粒数均为1个的铸态银钯合金单晶母线;
④粗拔:将ф3mm的银钯合金单晶母线拉拔成直径为1mm左右的银钯合金单晶丝;
⑤热处理:将直径为1mm左右的银钯合金单晶丝进行退火;
⑥精拔:将直径为1mm左右的银钯合金单晶丝精密拉拔成直径分别为13μm—50μm的成品银钯合金单晶键合丝;
⑦热处理:将精拔后的银钯合金单晶键合丝进行退火;
⑧表面清洗:先用稀释后的酸液对键合丝进行酸洗,然后经超声波清洗,再经高纯水清洗、烘干;
⑨分卷:将成品银钯合金单晶键合丝进行复绕、分卷、包装。
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