[发明专利]专用于掠入射XAFS实验的装置及其调整方法

权利要求书

1.一种专用于掠入射XAFS实验的装置，包括：

用于产生所述掠入射XAFS实验所需的X射线的装置；

前狭缝，用于限定所述用于产生所述掠入射XAFS实验所需的X射线的装置发出的X射线的尺寸；

第一升降台，用于安装所述前狭缝，并使所述前狭缝在与所述X射线的光轴方向垂直的方向上升降；

样品架，用于承载样品，所述样品的表面与从所述前狭缝出射的X射线相互作用；

旋转台，用于安装所述样品架，并使得所述样品架上的样品转动，以获得所需的X射线掠入射角度；

第二升降台，用于安装所述旋转台，并使得所述旋转台在与所述X射线的光轴方向垂直的方向上升降；

后狭缝，用于限定与所述样品的表面相互作用后的全反射X射线的尺寸；

第三升降台，用于安装所述后狭缝，并使得所述后狭缝在与所述X射线垂直的方向上升降；

基座升降部，用于安装所述第一升降台、所述第二升降台和所述第三升降台，使得所述第一升降台、第二升降台和所述第三升降台同时在与所述X射线的光轴方向垂直的方向上升降；

第一探测器，用于探测从所述样品发出的荧光信号；

第二探测器，用于探测从所述后狭缝出射的X射线信号。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述旋转台的转轴沿着所述样品的表面延伸方向经过所述样品的表面。

3.根据权利要求1所述的装置，还包括狭缝组件，设置在所述样品架与所述第一探测器之间；所述狭缝组件包括一组不平行的叶片并且具有焦点。

4.根据权利要求3所述的装置，其中，所述样品的中线至所述旋转台的台面的距离为所述狭缝组件的焦点距离。

5.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一探测器上设置有遮光罩。

6.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第二探测器设置在所述第三升降台上；

所述第三升降台设置于直线滑动台上，所述第三升降台在所述直线滑动台上的滑动方向与所述X射线的光轴方向平行。

7.根据权利要求1-6中任一权利要求所述的装置，所述基座升降部包括：

安装基板，用于安装所述第一升降台、所述第二升降台和所述第三升降台；

第四升降台，用于安装所述安装基板，使得所述安装基板在与所述X射线的光轴方向垂直的方向上升降。

8.一种如权利要求1-7中任一权利要求所述的装置的调整方法，包括：

调节基座升降部，使得所述基座升降部达到与准直光束相匹配的垂直高度；

打开前狭缝，移开样品，通过第三升降台调节所述后狭缝在与X射线的光轴垂直的方向上的高度，直到第二探测器的输出达到最大；

调节前狭缝的缝宽，并通过第一升降台调节所述前狭缝在与X射线的光轴垂直的方向上的高度，直到第二探测器的输出达到最大；

将样品放置在样品架上，通过第二升降台调节所述样品架在与X射线的光轴垂直的方向上的高度，直到第二探测器的输出达到最大时的一半；然后驱动旋转台，直到第二探测器的输出达到最大；重复垂直调节所述样品架的步骤，直到所述第二探测器的输出达到最大时的一半，并且在顺时针和逆时针两个方向旋转所述旋转台时，所述第二探测器的输出均减小。

9.根据权利要求8所述的方法，还包括：

根据所需的掠入射角度旋转所述旋转台；

设置所述后狭缝到所述样品架的距离，根据所述掠入射角度、所述后狭缝到所述样品架的距离，计算并设置所述后狭缝的垂直位置；

转动所述旋转台，直到所述第二探测器的输出达到最大值。