[发明专利]一种粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟及其制作方法

权利要求书

1.一种粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟，其特征在于：包括自上而下依次层叠的陶瓷舟和石墨发热体，所述陶瓷舟是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽的舟体，所述石墨发热体是采用高纯细晶石墨制备而成，所述陶瓷舟和石墨发热体之间设有粘胶以粘合成蒸发舟。

2.根据权利要求1所述的粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟，其特征在于：所述粘胶按重量配比为50%~80%的酚醛树脂和20%~50%的调和辅料，所述调和辅料是高纯鳞片石墨粉、碳化硅粉、碳化硼粉、氮化硼粉、立方氮化硼粉和硅粉中的任一种或多种的组合。

3.根据权利要求1所述的粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟，其特征在于：所述热压氮化硼基复合陶瓷为氮化硼/氮化铝复合陶瓷。

4.根据权利要求1所述的粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟，其特征在于：所述石墨发热体顶面设有与陶瓷舟底部相配合的凹槽。

5.根据权利要求4所述的粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟，其特征在于：所述陶瓷舟底面设有与凹槽相配合的凸台。

6.根据权利要求4或5所述的粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟，其特征在于：所述凹槽为沉槽或U形槽。

7.一种粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）制备陶瓷舟：以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽的陶瓷舟；（2）制备石墨发热体：以高纯细晶石墨制备成石墨发热体；（3）粘接成蒸发舟：用粘胶将陶瓷舟和石墨发热体粘合在一起并压紧固化，然后碳化制成蒸发舟。

8.根据权利要求7所述的粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟的制作方法，其特征在于：步骤（1）中的热压氮化硼基复合陶瓷为氮化硼/氮化铝复合陶瓷。

9.根据权利要求7所述的粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟的制作方法，其特征在于：步骤（2）中的石墨发热体顶面设有与陶瓷舟底部相配合的凹槽。

10.根据权利要求7所述的粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟的制作方法，其特征在于：步骤（3）中的粘胶按重量配比为50%~80%的酚醛树脂和20%~50%的调和辅料，所述调和辅料是高纯鳞片石墨粉、碳化硅粉、碳化硼粉、氮化硼粉、立方氮化硼粉和硅粉中的任一种或多种的组合。