[发明专利]基于空间光调制器的可调谐外腔半导体激光器

权利要求书

1.基于空间光调制器的可调谐外腔半导体激光器，其特征在于，它包括：高反射膜(1)、激光二极管(2)、增透膜(3)、准直透镜(4)、空间光调制器(5)和反射镜(7)，准直透镜(4)、空间光调制器(5)和反射镜(7)均位于激光器的外腔内，空间光调制器(5)为电寻址的空间光调制器；

在激光二极管(2)的发光面镀有增透膜(3)，非发光面镀有高反射膜(1)，激光二极管(2)产生并发射的光波经增透膜(3)射入激光器的外腔，在该外腔内经准直透镜(4)准直后入射到空间光调制器(5)，该空间光调制器(5)将光波分束获得反射光波和衍射光波，该反射光波从空间光调制器(5)正常反射的方向射出，该衍射光波以垂直于反射镜(7)表面的方向衍射到反射镜(7)上，该反射镜(7)将光波沿入射光路反射到空间光调制器(5)上，经该空间光调制器(5)衍射至准直透镜(4)，经该准直透镜(4)透射后经增透膜(3)入射至激光二极管(2)，经该激光二极管(2)透射的光经高反射膜(1)反射后反射至激光二极管(2)中。

2.根据权利要求1所述的基于空间光调制器的可调谐外腔半导体激光器，其特征在于，它还包括：空间光调制器基座(6)、PZT压电陶瓷(8)和反射镜基座(9)；

空间光调制器(5)固定于空间光调制器基座(6)上，PZT压电陶瓷(8)固定于反射镜基座(9)上，反射镜(7)固定于PZT压电陶瓷(8)上。

3.基于空间光调制器的可调谐外腔半导体激光器，其特征在于，它包括：高反射膜(1)、激光二极管(2)、增透膜(3)、准直透镜(4)、空间光调制器(5)和第二空间光调制器(10)，准直透镜(4)、空间光调制器(5)和第二空间光调制器(10)均位于激光器的外腔内，空间光调制器(5)为电寻址的空间光调制器；

在激光二极管(2)的发光面镀有增透膜(3)，非发光面镀有高反射膜(1)，激光二极管(2)产生并发射的光波经增透膜(3)射入激光器的外腔，在该外腔内经准直透镜(4)准直后入射到空间光调制器(5)，该空间光调制器(5)将光波分束获得反射光波和衍射光波，该反射光波从空间光调制器(5)正常反射的方向射出，该衍射光波以不垂直于第二空间光调制器(10)表面的方向衍射到第二空间光调制器(10)上，该经第二空间光调制器(10)将光波沿入射光路反射到空间光调制器(5)上，经该空间光调制器(5)衍射至准直透镜(4)，经该准直透镜(4)透射后经增透膜(3)入射至激光二极管(2)，经该激光二极管(2)透射的光经高反射膜(1)反射后反射至激光二极管(2)中。

4.根据权利要求3所述的基于空间光调制器的可调谐外腔半导体激光器，其特征在于，它还包括：空间光调制器基座(6)、PZT压电陶瓷(8)和第二空间光调制器基座(11)；

空间光调制器(5)固定于空间光调制器基座(6)上，PZT压电陶瓷(8)固定于第二空间光调制器基座(11)上，第二空间光调制器(10)固定于PZT压电陶瓷(8)上。

5.基于空间光调制器的可调谐外腔半导体激光器，其特征在于，它包括：高反射膜(1)、激光二极管(2)、增透膜(3)、准直透镜(4)、衍射光栅(12)和第二空间光调制器(10)，准直透镜(4)、衍射光栅(12)和第二空间光调制器(10)均位于激光器的外腔内，空间光调制器(5)为电寻址的空间光调制器；

在激光二极管(2)的发光面镀有增透膜(3)，非发光面镀有高反射膜(1)，激光二极管(2)产生并发射的光波经增透膜(3)射入激光器的外腔，在该外腔内经准直透镜(4)准直后入射到衍射光栅(12)，该衍射光栅(12)将该光波分束获得反射光波和衍射光波，该反射光波从衍射光栅(12)正常反射的方向射出，该衍射光波以不垂直于第二空间光调制器(10)表面的方向衍射到第二空间光调制器(10)上，该第二空间光调制器(10)将光波沿入射光路反射到衍射光栅(12)，经该衍射光栅(12)衍射至准直透镜(4)、经该准直透镜(4)透射后经增透膜(3)入射至激光二极管(2)，经该激光二极管(2)透射的光经高反射膜(1)反射后反射至激光二极管(2)中。

6.根据权利要求5所述的基于空间光调制器的可调谐外腔半导体激光器，其特征在于，它还包括：衍射光栅基座(13)、PZT压电陶瓷(8)和第二空间光调制器基座(11)；

衍射光栅(12)固定于衍射光栅基座(13)上，PZT压电陶瓷(8)固定于第二空间光调制器基座(11)上，第二空间光调制器(10)固定于PZT压电陶瓷(8)上。